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J-GLOBAL ID：201702268115658322   整理番号：17A1040910

PZT薄膜の電気的性質に及ぼす低鉛含有シード層の影響

Effect of seed layer with low lead content on electrical properties of PZT thin films

著者 (7件)： DELIMOVA Liubov (Ioffe Inst., Saint-Petersburg, RUS) ,  GUSCHINA Ekaterina (Ioffe Inst., Saint-Petersburg, RUS) ,  ZAITSEVA Nina (Ioffe Inst., Saint-Petersburg, RUS) ,  PAVLOV Sergey (Ioffe Inst., Saint-Petersburg, RUS) ,  SEREGIN Dmitry (Moscow Technological Univ. (MIREA), Moscow, RUS) ,  VOROTILOV Konstantin (Moscow Technological Univ. (MIREA), Moscow, RUS) ,  SIGOV Alexander (Moscow Technological Univ. (MIREA), Moscow, RUS)
資料名： Journal of Materials Research  (Journal of Materials Research)
巻： 32  号： 9  ページ： 1618-1627  発行年： 2017年05月15日 
JST資料番号： D0987B  ISSN： 0884-2914  CODEN： JMREEE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pb(Zr,Ti)O₃(PZT)はFeRAMやMEMSなどに使用される強誘電材料である。本研究では,低Pb含有シード層を用いたPZT膜の化学溶液堆積(CDS)による2段階結晶化法を提示した。本法では,結晶化の第1段階では低Pb(0~5wt%)前駆体から高配向性Pb粒子を堆積して,シード層を形成した。第2段階では,30wt%のPbを含むPb過剰結晶を得た。本稿では,CDS PZT膜の微細組織および電気的性質に及ぼす低Pbシード層の影響について検討した。主膜が形成する前にシード層が結晶化した場合,PZT膜は強い(111)集合組織を示し,(100)配向は完全に抑制された。シード層の鉛含有量および結晶化は粒界伝導に影響を及ぼし,従って,過渡電流の分極依存性に影響を及ぼした。

シソーラス用語： *薄膜成長 ,  誘電体薄膜 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  溶液成長 ,  下層 ,  *微細構造 ,  電気的性質 ,  *強誘電性 ,  結晶化 ,  多段処理 ,  結晶方位 ,  粒度分布 ,  濃度依存性 ,  集合組織 ,  結晶粒界 ,  X線回折分析 ,  誘電分極 ,  残留磁化 ,  電子顕微鏡観察 ,  顕微鏡観察
準シソーラス用語： 強誘電性薄膜 ,  PZT【鉛化合物】 ,  化学溶液堆積法 ,  シード層 ,  微細組織 ,  結晶配向 ,  強誘電分極 ,  走査電子顕微鏡法 ,  原子間力顕微鏡法

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： PZT ,  薄膜 ,  電気的性質 ,  鉛 ,  シード層