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J-GLOBAL ID：201702268266323407   整理番号：17A0591706

剥離したWSe₂電界効果トランジスタに関するガスセンシング特性

Gas-Sensing Characteristics of Exfoliated WSe₂ Field-Effect Transistors

著者 (6件)： HONG Yoonki (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  KANG Won-Mook (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  CHO In-Tak (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  SHIN Jongmin (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  WU Meile (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  LEE Jong-Ho (Seoul National Univ., Seoul, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 17  号： 5  ページ： 3151-3154  発行年： 2017年05月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガスセンサの開発に関連して,本論文では,WSe₂電界効果トランジスタを調製し,特性を調べた。このトランジスタでは,バックゲート電極として高度にnドーープしたSiを使用し,剥離したWSe₂フレークを,p型チャネルとして作用するガスセンシング層として用いた。センサとしての性能を,NO₂,NH₃,SO₂およびH₂Sについて,温度25°Cで測定した。その結果に基づいて,濃度1ppmでのドレイン電流変化は,上記気体について,それぞれ,347,72,16および26%であることを記し,酸化および還元気体に対する機構を説明した。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *FET【トランジスタ】 ,  化合物半導体 ,  セレン化物 ,  *タングステン化合物 ,  酸化窒素 ,  アンモニア ,  二酸化硫黄 ,  硫化水素 ,  電流 ,  剥離
準シソーラス用語： 電界効果トランジスタ ,  セレン化タングステン ,  ドレイン電流

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (2件)： 電界効果トランジスタ ,  センシング