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J-GLOBAL ID：201702268516315595   整理番号：17A1475044

高周波駆動型非平衡大気圧Heプラズマ基礎特性に及ぼす不純物N₂濃度の影響

Influence of Impurity Nitrogen Concentration on Fundamental Properties of RF-Driven Non-Equilibrium Atmospheric-Pressure Helium Plasmas

著者 (2件)： 小森郷平 (千葉工業大学 工学部 電気電子工学科) ,  小田昭紀 (千葉工業大学 工学部 電気電子工学科)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 137  号： 10  ページ： 570-576(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文では,RF駆動型非平衡大気圧Heプラズマの基礎特性に及ぼす不純物N₂濃度の影響を,流体モデルに基づくシミュレーションにより解析した。その結果,本プラズマ基礎特性に及ぼす不純物N₂濃度依存性から,特定の不純物N₂濃度(本研究では2.0ppm)において放電維持電圧が最小(本研究では189V)となった。本結果から,不純物N₂濃度を適切に設定することで,低電圧で大気圧プラズマが生成維持可能な不純物N₂濃度が存在することを明らかにした。

シソーラス用語： *プラズマ ,  *非平衡状態 ,  *ヘリウム ,  *数値解析 ,  *シミュレーション ,  *窒素 ,  *不純物濃度 ,  *濃度依存性 ,  グロー放電 ,  モデリング ,  方程式 ,  *計算モデル ,  電流電圧特性 ,  電流密度 ,  Penningイオン化 ,  *大気プラズマ ,  *プラズマ生成
準シソーラス用語： 大気圧非平衡プラズマ ,  ヘリウムプラズマ ,  数値シミュレーション ,  大気圧グロー放電 ,  支配方程式 ,  流体モデル ,  大気圧プラズマ

著者キーワード (8件)： 非平衡大気圧プラズマ ,  He ,  N₂ ,  シミュレーション ,  non-equilibrium atmospheric pressure plasma ,  helium ,  nitrogen ,  numerical simulation

分類 (1件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

引用文献 (20件)：

• (1) U. Kogelschatz, B. Eliasson, and W. Egili : “Dielectric-Barrier Discharge. Principle and Applications”, J. Phys. IV (France), Vol. 7, C4-47 (1997)
• (2) U. Kogelschatz : “Dielectric-Barrier Diecharges: Their History, Discharge Physics, and Industrial Applications”, Plasma Chem. & Plasma Process, Vol. 23, Issue 1, pp. 1-46 (2003)
• (3) M. Yousfi, A. Bekstein, N. Merbahi, O. Eichwald, O. Ducasse, M. Benhenni, and J. P. Gardou : “Basic data for atmospheric pressure non-thermal plasma investigations in environmental and biomedical applications”, Plasma Sources Sci. Technol., Vol. 19. No. 3, 034044 (2010)
• (4) S. Kanazawa, M. Kogoma, T. Moriwaki, and S. Okazaki : “Stable glow plasma at atmospheric pressure”, J. Phys. D: Appl. Phys., Vol. 21, No. 5, pp. 838-840 (1988)
• (5) F. Massines, P. Segur, N. Gherardi, C. Khamphan, and A. Ricard : “Physics and Chemistry in a glow dielectric barrier discharge at atmospheric pressure: diagnostics and modeling”, Surf. Coat. Technol., Vol. 174-175, pp. 8-14 (2003)

タイトルに関連する用語 (8件)： 高周波駆動 ,  非平衡 ,  大気圧 ,  He ,  プラズマ ,  基礎 ,  不純物 ,  N2