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J-GLOBAL ID：201702268541926619   整理番号：17A0967294

低固有接触抵抗率のための構造の試験円形交差Kelvin抵抗器【Powered by NICT】

Circular Cross Kelvin Resistor test structure for low specific contact resistivity

著者 (5件)： Luong Stanley (School of Electrical and Computer Engineering, RMIT University, Melbourne VIC 3001, Australia) ,  Alnassar Mohammad Saleh N. (School of Electrical and Computer Engineering, RMIT University, Melbourne VIC 3001, Australia) ,  Yue Pan (School of Electrical and Computer Engineering, RMIT University, Melbourne VIC 3001, Australia) ,  Holland Anthony S. (School of Electrical and Computer Engineering, RMIT University, Melbourne VIC 3001, Australia) ,  Algahtani Fahid (Medical Services - Inspection Department, Ministry of Defence, Riyadh, Kingdom of Saudi Arabia)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： SoutheastCon  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ohm接触の比接触抵抗を決定し,従来の交差Kelvin抵抗器(CKR)テスト構造を用いて,そうすることで誤差は接触周辺の寄生抵抗から生じる。これら寄生抵抗は便利な解析的表現はこの抵抗を計算するために利用できないために決定することは困難である。しかし,全方向からの均一円形接触に流入する電流を,解析的な式を用いてモデル化できる。,同心等電位面間で起こるため寄生抵抗は容易に計算できる新しい試験構造を示した。抵抗を全抵抗から差し引い接触界面による抵抗,界面の比接触抵抗を与えることである。CKRと円形伝送線路モデル(CTLM)の側面を用いて,新しい試験構造,比接触抵抗を決定するための円形交差Kelvin抵抗器(CCKR)テスト構造を設計した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： テスト構造 ,  電流 ,  界面 ,  モデリング ,  *抵抗器 ,  電位 ,  Ohm接触
準シソーラス用語： 伝送線路モデル ,  接触界面 ,  全方向 ,  解析表現 ,  寄生抵抗 ,  *比接触抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 固有 ,  接触抵抗率 ,  試験 ,  円形 ,  交差 ,  抵抗器