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J-GLOBAL ID：201702268878377308   整理番号：17A0651851

マグネトロンスパッタリングで作製したCr膜のミクロ組織に及ぼすドーピング元素の結晶構造の影響

Influence of Doping Element Crystal Structure on the Microstructure of Cr Films by Magnetron Sputtering

著者 (5件)： CHEN Dichun (Luoyang Ship Material Res. Inst., Xiamen, CHN) ,  LI Hongtao (Nanjing Tech Univ., Nanjing, CHN) ,  GONG Hui (Luoyang Ship Material Res. Inst., Xiamen, CHN) ,  WANG Xiaoping (Luoyang Ship Material Res. Inst., Xiamen, CHN) ,  YAO Jinghua (Luoyang Ship Material Res. Inst., Xiamen, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 723  ページ： 464-469  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マグトロンスパッタリングでシリコンウエハーの表面にいろいろなドーピング元素(W-bcc,Al-fcc,Al(Ce)-fcc,Zn-hcp,C-hexagonal)を含むCr膜を蒸着した。W-bccはCr膜の(110)結晶面に沿った優先配向成長を強く妨げることができ,CrとWの単層で構成されたナノ多層構造を容易に形成した。Al-fccはCr膜の全ての結晶面に沿った優先配向を強く妨げることができた。Al(Ce)ドープのCr膜では平均結晶粒径が著しく小さくなり,希土類金属Ceの添加で結晶化度が改善された。Zn-hcpとC-hexagonalはCr原子とそれぞれ置換型固溶体と格子間固溶体を形成しCrの(110)結晶面に沿った優先配向成長の傾向を妨げた。またCrとZn(もしくはC)の単層で構成されたナノ多層構造が膜の中に形成された。

シソーラス用語： *蒸着膜 ,  *スパッタ蒸着 ,  *クロム ,  *ドーパント ,  タングステン ,  アルミニウム ,  アルミニウム合金 ,  セリウム含有合金 ,  亜鉛 ,  炭素 ,  *結晶構造 ,  *微細構造 ,  多層構造 ,  ナノ構造 ,  結晶粒径 ,  結晶度 ,  固溶体

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： マグネトロンスパッタリング ,  作製 ,  Cr ,  ミクロ組織 ,  ドーピング元素 ,  結晶構造