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J-GLOBAL ID：201702268879654006   整理番号：17A1000021

低圧反応性プラズマ中の浮上ナノマイクロサイズ粒子に及ぼす基板の熱放射効果【Powered by NICT】

The thermal radiation effect of substrate on nano-microsized particles levitating in low-pressure reactive plasmas

著者 (3件)： Nagai Tatsuzo (Kyushu Kyoritsu University Research Institute, Kitakyushu, Fukuoka 807-8585, Japan) ,  Naitoh Masamichi (Graduate School of Life Science and System Engineering, Kyushu Institute of Technology, Kitakyushu, Fukuoka 808-0196, Japan) ,  Shoji Fumiya (Kyushu Kyoritsu University Research Institute, Kitakyushu, Fukuoka 807-8585, Japan)
資料名： Applied Materials Today  (Applied Materials Today)
巻： 7  ページ： 185-189  発行年： 2017年 
JST資料番号： W3082A  ISSN： 2352-9407  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 基板からの熱放射の影響を低圧反応性プラズマのシース中の浮揚ナノミクロサイズ粒子の温度に理論的に研究した。粒子温度の時間変化に対する基本的な方程式は,熱放射と粒子-気体分子衝突を通じた熱伝達による熱の利得および損失項を含む与えられた。方程式の数値積分は以下の結果が得られた。粒子温度は最初時間と共に直線的に増加し,その後徐々に最大値に近づく。最大温度は基板温度と材料特性に依存する。結果メタンプラズマ中に観測された炭素粒子の場合への適用は,粒子温度は1100Kの基板温度で約2000Kであり,粒子がカーボンオニオン骨材の粘弾性相であることを提案した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 最高気温 ,  熱伝達 ,  *低圧 ,  基板温度 ,  粘弾性 ,  利得 ,  経時変化 ,  ナノ粒子 ,  数値積分 ,  *浮上り ,  材料特性 ,  粒子温度 ,  *放射伝熱 ,  機械的性質 ,  *電磁波 ,  *波動
準シソーラス用語： *熱放射 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 熱放射 ,  カーボンタマネギ ,  ナノ粒子 ,  粒子温度 ,  反応性プラズマ

分類 (1件)： 対流・放射熱伝達  (PA02030K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 低圧 ,  反応性プラズマ ,  浮上 ,  熱放射効果