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J-GLOBAL ID：201702268946179410   整理番号：17A0908102

溶液前駆体プラズマ溶射および対応するガスセンシング性能によるZnO膜に及ぼす前駆体溶液の影響【Powered by NICT】

Effect of precursor solutions on ZnO film via solution precursor plasma spray and corresponding gas sensing performances

著者 (7件)： Yu Z.X. (Univ Bourgogne Franche Comte, CNRS, Lab ICB, UMR 6303, Site UTBM, F-90010 Belfort, France) ,  Ma Y.Z. (School of Materials Science and Engineering, Anhui University of Technology, Ma’anshan 243002, PR China) ,  Zhao Y.L. (Univ Bourgogne Franche Comte, CNRS, Lab ICB, UMR 6303, Site UTBM, F-90010 Belfort, France) ,  Huang J.B. (Key Lab of Safety Science of Pressurized System, Ministry of Education, School of Mechanical and Power Engineering, East China University of Science and Technology, Shanghai 200237, PR China) ,  Wang W.Z. (Key Lab of Safety Science of Pressurized System, Ministry of Education, School of Mechanical and Power Engineering, East China University of Science and Technology, Shanghai 200237, PR China) ,  Moliere M. (Univ Bourgogne Franche Comte, CNRS, Lab ICB, UMR 6303, Site UTBM, F-90010 Belfort, France) ,  Liao H.L. (Univ Bourgogne Franche Comte, CNRS, Lab ICB, UMR 6303, Site UTBM, F-90010 Belfort, France)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 412  ページ： 683-689  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい溶射法としての溶液前駆体プラズマ溶射(SPPS)を用いて,前駆体溶液の種々の定式化を用いてナノ構造ZnO薄膜を堆積した。本論文では,結晶成長の優先配向に及ぼす溶液組成の影響に焦点を当て,得られたZnO膜の結晶粒径と表面形態。ZnO膜の(002)格子面に沿った優先成長の傾向は,特定の係数P(002)を用いた低速走査X線回折により研究した。熱溶射プロセスはc軸に沿って優先配向ZnO膜の蓄積を促進することが明らかになった。単一粒子の形状は溶媒中のエタノールの体積比を増加させることによって円形ビーズから六方晶板にする傾向がある。高比表面積と粗さを特徴とする両カリフラワーとハニカム様表面形態は溶液組成を変化させることによりSPPS法により得た。これらのZnO膜は136°という高い接触角,マイクロレリーフ高比表面積の開発に関連した外見上では疎水性である。(002)面に沿って優先的に配向したZnO膜のガスセンシング性能を「第一原理計算法」を用いて予測した,主に(101)面に沿って配向していることを従来の膜と比較した。(002)面は電気抵抗のはるかに大きい変化を有する(101)面よりも優れた水素吸着能力を示した。結論として,SSPSで得られたc軸配向したZnO膜は,ガス検知用途における高感度層として使用される好ましい性能を持っている。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 比表面積 ,  X線回折 ,  体積率 ,  結晶成長 ,  接触角 ,  形態 ,  優先配向 ,  *酸化亜鉛 ,  六方晶系 ,  ナノ構造 ,  疎水性 ,  結晶粒径 ,  *前駆体 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： 表面形態 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 溶液前駆体プラズマ溶射 ,  Microstructure ,  結晶化 ,  ZnO膜 ,  濡れ挙動 ,  第一原理計算

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (5件)： 溶液前駆体プラズマ溶射 ,  センシング ,  ZnO ,  前駆体 ,  溶液