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J-GLOBAL ID：201702268970241789   整理番号：17A0855794

カーボンナノチューブ繊維電極を用いた金属ガラスのワイヤ電気化学的マイクロマシニング【Powered by NICT】

Wire electrochemical micromachining of metallic glass using a carbon nanotube fiber electrode

著者 (8件)： Meng Lingchao (College of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China) ,  Meng Lingchao (Jiangsu Key Laboratory of Precision and Micro-Manufacturing Technology, Nanjing 210016, China) ,  Zeng Yongbin (College of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China) ,  Zeng Yongbin (Jiangsu Key Laboratory of Precision and Micro-Manufacturing Technology, Nanjing 210016, China) ,  Fang Xiaolong (College of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China) ,  Fang Xiaolong (Jiangsu Key Laboratory of Precision and Micro-Manufacturing Technology, Nanjing 210016, China) ,  Zhu Di (College of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China) ,  Zhu Di (Jiangsu Key Laboratory of Precision and Micro-Manufacturing Technology, Nanjing 210016, China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 709  ページ： 760-771  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属ガラスは,その優れた機能的および構造的特性のためにマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)における高性能マイクロデバイスを実現するための有望な材料である。の応用に重要な制限は,マイクロスケールでのそれらの形成の課題である。工具電極としてのカーボンナノチューブ繊維(CNF)を用いたワイヤ電気化学的マイクロマシニング(WECMM)の技術は,金属ガラスの微細構造の作製のために提案した。WECMMは複雑な形状のマイクロ部品を作製するための柔軟で効果的な技術としてますます認識されていることを電気化学的マイクロマシニング(ECMM)の一種である。Ni基金属ガラス,Ni_72Cr_19Si_7B_2の例を用いて,希薄酸電解質中の分極と加工特性を調べた。加工ギャップはWECMMにおける非常に小さいので,加工効率,安定性及び品質を改善するために非常に重要である効率的な物質輸送。本研究でCNF電極を用いた質量輸送を向上させる効率は流れ場シミュレーションと親水性分析,実験的研究により示した。最大供給速度を2倍にすることができ,機械加工スリットの均一性は,滑らかなタングステン線を用いて得た結果と比較して五倍以上に改善した。最後に,金属ガラスに基づく複雑な微細構造は,CNF電極を用いたWECMMにより作製することに成功した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： シミュレーション ,  ニッケル ,  MEMS ,  微細構造 ,  *電気化学 ,  電解質 ,  *カーボンナノチューブ ,  タングステン ,  物質移動 ,  形態 ,  *マイクロマシニング ,  加工性 ,  *金属ガラス ,  *金属線
準シソーラス用語： マイクロスケール , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 金属ガラス ,  カーボンナノチューブ繊維 ,  ワイヤ電気化学的微細加工 ,  質量輸送 ,  親水性

分類 (1件)： 二次電池  (YB04030K)

タイトルに関連する用語 (6件)： カーボンナノチューブ ,  繊維 ,  金属ガラス ,  ワイヤ ,  電気化学 ,  マイクロマシニング