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J-GLOBAL ID：201702269072556344   整理番号：17A1634130

パッチで給電したミリ波微細加工した空気充填スロットアンテナ【Powered by NICT】

A Millimeter-Wave Micromachined Air-Filled Slot Antenna Fed by Patch

著者 (6件)： Liu Peiqin (State Key Laboratory on Microwave and Communications, Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Chang Le (State Key Laboratory on Microwave and Communications, Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Li Yue (State Key Laboratory on Microwave and Communications, Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Zhang Zhijun (State Key Laboratory on Microwave and Communications, Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Wang Shaodong (Hebei Semiconductor Research Institute, Shijiazhuang, China) ,  Feng Zhenghe (State Key Laboratory on Microwave and Communications, Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Tsinghua University, Beijing, China)
資料名： IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology  (IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology)
巻： 7  号： 10  ページ： 1683-1690  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0590B  ISSN： 2156-3950  CODEN： ITCPC8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,ミリ波空気スロットアンテナをバルクシリコンマイクロエレクトロメカニカルシステムマイクロマシニング技術に基づいて提示した。アンテナは,このシリコンマイクロマシニング技術を利用したシステムインパッケージ応用に適している。ミリ波帯における高放射効率を達成するために,三金めっきシリコン層は空気で満たされたスロットアンテナを実現するために一緒に結合していた。空気で満たされた構造を透過損失を低減し,放射利得を向上させる利点を持っている。シリコンと空気の間の不連続性を緩和するために,提案したアンテナは,インピーダンス帯域幅を広げ,空気で満たされた構造を供給するパッチを採用している。マイクロマシニング技術と空気で満たされた構造のために,アンテナは誘電損失を被ることなく集積回路と一体化できる。提案したアンテナの測定されたインピーダンス帯域幅は56.3~63.4GHzであり,測定したピーク利得は60GHzにおいて7.8dBiである。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 利得 ,  誘電損失 ,  *微細加工 ,  *アンテナ ,  *EHF波 ,  放射効率 ,  *スロットアンテナ ,  金めっき ,  マイクロマシニング ,  ケイ素 ,  不連続性 ,  集積回路
準シソーラス用語： インピーダンス帯域幅 ,  システムインパッケージ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： アンテナ  (ND06000M)

タイトルに関連する用語 (5件)： パッチ ,  給電 ,  ミリ波 ,  微細加工 ,  スロットアンテナ