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J-GLOBAL ID：201702269112363056   整理番号：17A1295430

狭帯域レベル集合アルゴリズムに基づく三次元表面プロセスシミュレーションシステム【JST・京大機械翻訳】

A Three-Dimensional Surface Miacromachining Process Simulation System Based on the Narrow Band Level Set Method

著者 (4件)： Li Ning (東南大学MEMS教育部重点実験室,南京 21096) ,  Zhou Zaifa (東南大学MEMS教育部重点実験室,南京 21096) ,  Huang Qingan (東南大学MEMS教育部重点実験室,南京 21096) ,  Yu Jiacheng (東南大学MEMS教育部重点実験室,南京 21096)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 30  号： 4  ページ： 500-505  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 表面プロセスはMEMS製造の重要な方法であり、その加工プロセスの計算機シミュレーションを実現することは関連MEMSプロセス研究とデバイス開発に技術サポートを提供でき、関連MEMS製品の開発コストを減少させ、その開発周期を短縮できる。狭帯域レベル集合アルゴリズムに基づいて,表面加工技術の三次元表面プロセスシミュレーションシステムを完成した。狭帯域レベル集合アルゴリズムは安定しており、計算速度が速くトポロジー変形を処理するのは非常に柔軟であり、本文では、このソフトウェアシミュレーションシステムに応用し、シミュレーション実験を行い、シミュレーション結果を実際のフローシートと比較し、シミュレーションシステムの正確性を検証した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 流れ図 ,  *三次元 ,  計算機処理速度 ,  *狭帯域 ,  MEMS ,  位相幾何学 ,  *アルゴリズム ,  計算機シミュレーション ,  *シミュレーション ,  表面加工
準シソーラス用語： 正確性 ,  *シミュレーションシステム ,  *レベルセット法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： MEMS ,  simulation system ,  surface micromachining process ,  narrow band level set method

分類 (2件)： 航海と実務  (TD01020F) ,  計算機シミュレーション  (JE11000H)

タイトルに関連する用語 (5件)： 狭帯域 ,  レベル集合 ,  アルゴリズム ,  プロセス ,  シミュレーションシステム