文献

J-GLOBAL ID：201702269226429529   整理番号：17A0740326

非接触検査・計測技術の最新動向 位相シフト不要なワンショット形状計測 広視野レーザー走査型干渉計との組み合わせ

著者 (2件)： 新田勇 (新潟大) ,  月山陽介 (新潟大)
資料名： 検査技術  (Inspection Engineering (Tokyo))
巻： 22  号： 7  ページ： 47-52  発行年： 2017年07月01日 
JST資料番号： L3524A  ISSN： 1342-9825  CODEN： KGEIAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 筆者らは,レーザ走査用fθレンズを用いて広視野顕微鏡を開発している。広視野化を図るために,深さ方向の解像度を犠牲にしている。深さ方向の解像度を光の干渉を使って改善することとすると,位相シフト法など光干渉計測を使用する必要がある。位相シフト法では,干渉縞計測に時間がかかり,位相計算に使用する4枚の干渉縞画像は,振動や熱変形の影響を受けやすくなり,位相解析や位相接続で形状誤差が大きくなる。広視野レーザ顕微鏡と参照板の裏面にCr,Feなどの十数μm厚さの金属薄膜を成膜した金属成膜参照板を用いると,位相シフト法を使わなくても1度の画像計測で三次元形状が計測できる。この技術について解説する。

シソーラス用語： *金属薄膜 ,  *レーザ干渉計 ,  視野 ,  *光学顕微鏡 ,  深さ ,  分解能 ,  形状測定 ,  三次元測定 ,  板ガラス ,  干渉縞 ,  画像分析
準シソーラス用語： 広視野 ,  レーザ顕微鏡 ,  深さ分解能 ,  3D形状計測 ,  三次元形状計測 ,  干渉縞解析

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (12件)： 非接触 ,  検査 ,  計測 ,  最新動向 ,  位相シフト ,  ショット ,  形状計測 ,  広視野 ,  レーザー ,  走査型 ,  干渉計 ,  組み合わせ