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J-GLOBAL ID：201702269454101101   整理番号：17A1915137

水蒸気プラズマによるCOPとガラス系基板の異種材料接合

著者 (4件)： 寺井弘和 (サムコ) ,  舩橋理佐 (サムコ) ,  橋本泰知 (サムコ) ,  角田正也 (シスメックス)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 34th  ページ： ROMBUNNO.31am3-PS-95  発行年： 2017年10月24日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマ ,  *シクロアルケン ,  *重合体 ,  *基板 ,  *電気装置部品 ,  *異種材料接合 ,  接合 ,  マイクロフルイディクス
準シソーラス用語： *水蒸気プラズマ ,  *ガラス基板 ,  常温接合

分類 (2件)： 流体式制御機器  (IC02030J) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 水蒸気プラズマ ,  COP ,  ガラス ,  異種材料接合