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J-GLOBAL ID:201702269625769228   整理番号:17A0632651

溶融ガラス上の大型単層MoSe2結晶の化学気相成長

Chemical Vapor Deposition of Large-Size Monolayer MoSe2 Crystals on Molten Glass
著者 (18件):
資料名:
巻: 139  号:ページ: 1073-1076  発行年: 2017年01月25日 
JST資料番号: C0254A  ISSN: 0002-7863  CODEN: JACSAT  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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溶融ガラス上での化学気相成長(CVD)によるミリメータサイズの高品質単層MoSe2結晶の成長について報告した。MoSe2結晶のCVDは常圧,1050°Cまでの少量のH2を含むAr気流下の溶融ガラス上で,MoO3とSeを用いて行った。MoSe2結晶は700~1050°Cの広い温度範囲で生成して,高温ほど結晶核密度が減少して結晶粒度が大きくなった。H2濃度はMoO3の還元に影響して,最適な13%のH2では,5分の成長で大型(数百μm~数mm)のMoSe2結晶が生成した。生成したMoSe2結晶の微細構造,光学吸収特性および電気特性を明らかにした。
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分類 (2件):
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その他の無機化合物の薄膜  ,  塩 
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