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J-GLOBAL ID:201702269632989361   整理番号:17A1104575

2つの偏光ビームスプリッタ板を用いた偏光位相シフト横方向シアリング干渉計

Polarization phase-shifting lateral shearing interferometer with two polarization beam splitter plates
著者 (10件):
資料名:
巻: 24  号:ページ: 600-604 (WEB ONLY)  発行年: 2017年08月 
JST資料番号: U0709A  ISSN: 1349-9432  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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偏光シアリング干渉計では,光路差などの問題により,共通光路シアリング干渉計を実現することが困難である。光路差補償を実現し,小型の干渉計を実現するために,偏光ビームスプリッタ板(PBSP)の使用について検討した。2つのPBSPを使用して,小型な偏光位相シフト横方向シアリング干渉計を開発した。この動作原理を述べ,性能を検証した。2つのPBSP,1/4波長板,分析器およびCCDカメラを用いて,干渉計を構築した。2つのPBSPを適切な空間的位置に配置することにより,光路差補償を達成した。これにより,平面で共通光路のシアリング干渉計を実現できることが分かった。この干渉計は,単純な構造を有し,高い性能を示した。
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分類 (1件):
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干渉測定と干渉計 
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