Herriotセルに基づく光サブミクロン変位センサ【Powered by NICT】

Campos-Puebla Juan Jose; Sanchez-Perez Celia; Argueta-Diaz Victor

文献

J-GLOBAL ID：201702269659342508 整理番号：17A0826568

Herriotセルに基づく光サブミクロン変位センサ【Powered by NICT】

Optical Submicrometer Displacement Sensor Based on the Herriot Cell

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資料名：
巻： 17 号： 6 ページ： 1715-1720 発行年： 2017年
JST資料番号： W1318A ISSN： 1530-437X CODEN： ISJEAZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

本論文では,円筒形可変形鏡を用いて設計したH erriottセルを用いた変位センサを提示した。可動対象はミラーの曲率と細胞内の位置の一つを変化させて,ナイフエッジ法で測定した出力ビームの角度経路を変化させる。設計は鏡のための容易な製造プロセスを持つコンパクトなデバイスになる。は3.0~μmの精度で100μmの範囲で 1.7μW/μmの感度を達成した。変位を測定するためのHerriottセルの使用は,発生の数に応じてセンサの感度と範囲の修飾を可能にした。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器

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