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J-GLOBAL ID：201702269903816971   整理番号：17A0994681

高温におけるTiAlSiN PVD皮膜の機械的及びトライボロジー的性質に及ぼすSi含有量の影響【Powered by NICT】

Influence of Si content on mechanical and tribological properties of TiAlSiN PVD coatings at elevated temperatures

著者 (2件)： Tillmann Wolfgang (Institute of Materials Engineering, TU Dortmund University, Germany) ,  Dildrop Markus (Institute of Materials Engineering, TU Dortmund University, Germany)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 321  ページ： 448-454  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiNと加工工具の使用寿命を延長するためにCrN基二元または三元被覆が長年使用されてきた。金属加工業における増加する需要は,より効率的な被覆システムを必要とする。最近の研究によれば,シリコンは,薄いチタンまたはクロム基被覆の特性に影響する積極的に有望な機会を提供する。ナノ複合体TiAlSiNは高硬度および微細結晶粒構造を示した。さらに,ケイ素を添加することによって,耐酸化性だけでなく,トライボロジー特性が増加し,改善することができる。本研究では,異なるSi含有量(0 10.9at%)を持つTiAlSiN被覆を,マグネトロンスパッタリングにより作製した。スパッタ純,低導電性シリコンターゲットの可能性を試験するために,種々のスパッタとバイアスモードを試験した。他の被覆元素の比は一定に保ったPVD被覆内のシリコン含有量を変化させた。窒化鋼試料(AISIH11)を基板材料として用いた。TiAlSiNのトライボメカニカル特性に及ぼすSi含有量の影響を解析した。分析がこの範囲内に被覆形態の変化に起因する5-10at%のシリコン含有量を有する被覆に焦点を当てた。シリコンをドープした被覆の被覆形態と異なる化学組成を走査型電子顕微鏡とEDX分析により調べた。相解析を行い,残留応力をX線回折により測定した。PVD皮膜の硬度とYoung率をナノインデンテーションを用いて調べた。さらに,基材と被膜の間の接着を特性化するために行った引かき試験。最後に,室温と高温(500°C, 800°C)でのTiAlSiN被覆の耐摩耗性を決定するために行った高温トライボメータ試験。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ナノ複合材料 ,  *ケイ素 ,  硬度 ,  *高温 ,  マグネトロンスパッタリング ,  耐摩耗性 ,  *皮膜 ,  残留応力 ,  クロム ,  *トライボロジー ,  X線回折 ,  耐酸化性 ,  被覆 ,  エネルギー分散X線分光分析
準シソーラス用語： 窒化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： TiAlSiN ,  ナノ複合材料 ,  低導電性シリコンターゲット ,  機械的挙動 ,  高温トライボロジー

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： PVD ,  皮膜 ,  トライボロジー ,  性質 ,  Si含有量