非常に高磁場の<sup>27</sup>Al核磁気共鳴で検証した,非晶質アルミニウムオキシヒドロキシド,オキシドおよびオキシカーバイド膜の原子スケール構造

Baggetto L.; Sarou-Kanian V.; Florian P.; Gleizes A. N.; Massiot D.; Vahlas C.

文献

J-GLOBAL ID：201702270076887549 整理番号：17A0499130

非常に高磁場の²⁷Al核磁気共鳴で検証した,非晶質アルミニウムオキシヒドロキシド,オキシドおよびオキシカーバイド膜の原子スケール構造

Atomic scale structure of amorphous aluminum oxyhydroxide, oxide and oxycarbide films probed by very high field ²⁷Al nuclear magnetic resonance

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資料名：
巻： 19 号： 11 ページ： 8101-8110 発行年： 2017年
JST資料番号： A0271C ISSN： 1463-9076 CODEN： PPCPFQ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

アルミニウムトリイソプロポキシド(ATI)およびジメチルイソプロポキシド(DMAI)からの直接液体射出化学気相堆積で形成した非晶質アルミニウム膜中のアルミニウムの原子スケール構造を,非常な高磁場20.0Tを用いた固相²⁷Al核磁気共鳴(SSNMR)で調べた。本研究は,300~560°C,150~450°Cおよび500~700°Cの範囲の堆積温度の関数として,各々ATI,DMAI(+H₂O)およびDMAI(+O₂)から形成した膜について実施した。膜の大部分は化学量論的酸化アルミニウムから構成されていたが,他の試料としては,低温で部分的あるいは完全にヒドロキシル化しているか,あるいはDMIから500°Cを超える温度で形成した場合はカーバイド的炭素を含有した。SSNMR実験の定量分析から,これら膜の局所構造は,AlO₄,AlO₅,AlO₆およびAl(O,C)₄単位から構築され,DMAI(+O₂)から形成した膜中では,少量の6重アルミニウム配位と顕著な量のオキシカーバイドが存在することが明らかになった。アルミニウム配位分布と化学シフト分布から,DMAIから形成した膜はATIから形成した膜と比較して,構造的無秩序性が高いことが示された。ヒドロキシル化により,OH基がAlO₆単位となる傾向の結果として,6重配位の増加が生じた。²⁷Al SSNMRと,Al₄C₃およびAl₄O₄C結晶構造に対する第一原理NMR計算から得られた,DMAI(+O₂)から形成した膜中に追加的環境が存在する証拠から,炭素がAl(O,C)₄単位中に局在していることが支持された。この配位環境の濃度は形成温度が600から700°Cに増加すると大きく増大し,高次無秩序構造が優先され,γ-アルミナへの結晶化は抑制された。得られた結果は,標的応用の観点から,非晶質アルミナ膜のCVDに対する形成条件の選択に有益な指針となる。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST

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酸化物の結晶成長 , 酸化物薄膜 , 塩基,金属酸化物 , 気相めっき

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非常に高磁場の27Al核磁気共鳴で検証した,非晶質アルミニウムオキシヒドロキシド,オキシドおよびオキシカーバイド膜の原子スケール構造

非常に高磁場の²⁷Al核磁気共鳴で検証した,非晶質アルミニウムオキシヒドロキシド,オキシドおよびオキシカーバイド膜の原子スケール構造