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J-GLOBAL ID：201702270084919552   整理番号：17A1737919

半導体プロセスにおける最近の液体極微小流量計測 極微小面積式流量計〈数mL/minを計測,微調整制御を可能とするメカニカル製品〉

著者 (1件)： 山本明 (コフロック)
資料名： 計測技術  (Instrumentation and Automation)
巻： 45  号： 13  ページ： 6-10  発行年： 2017年12月05日 
JST資料番号： S0852A  ISSN： 0385-9886  CODEN： KEGIDR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微小面積式流量計の特長は,基本構成は直径3mmの精度の高いステンレス鋼(SUS316)製フロートと非常に精微に仕上げた硬質ガラス製テーパ菅の二つとなっている。構造は上端が下端より広がった円錐状の筒(テーパー菅)の中に,浮子(フロート)を入れたもので,流量の大小によりフロートが上下し,その釣り合う位置を読み取り,流量を求める。この流体が流れる環状路の面積が流量を規定していることから,この方式の流量計を面積式流量計と呼ぶ。微小流量計で使用され,微細でなめらかな流量調整を可能にしているのが精密ニードルバルブMODEL2412である。

シソーラス用語： *半導体プロセス ,  *流量測定 ,  *流量計 ,  ニードル弁 ,  フロート
準シソーラス用語： *流量計測 ,  *面積形流量計

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 半導体プロセス ,  微小 ,  流量計測 ,  面積式流量計 ,  ML ,  計測 ,  微調整