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J-GLOBAL ID:201702270333183302   整理番号:17A0526994

水素シルセスキオキサンから官能化ケイ素ナノ結晶へ

From Hydrogen Silsesquioxane to Functionalized Silicon Nanocrystals
著者 (14件):
資料名:
巻: 29  号:ページ: 80-89  発行年: 2017年01月10日 
JST資料番号: T0893A  ISSN: 0897-4756  CODEN: CMATEX  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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水素シルセスキオキサン(HSQ)の高温処理によるケイ素ナノ結晶合成のVeinotグループの方法を紹介した。HSQは市販されているケイ素が多い酸化物(HSiO1.5)で,電子ビームレジストとして使用されている。5%H2/95%Arから成るガスを流しながら,僅かに減圧で1100°C1hr加熱するとSiとSiO2に分解する。SiO2中でSiはクラスターを形成し,ナノ結晶が生成し複合体となる。これをエタノール中で粉砕し,49%HFを添加して水素末端のケイ素ナノ結晶を得た。これを,熱,光,ラジカル開始とLewis酸開始によりドデカンで化学修飾したSiナノ結晶が得られることを紹介した。最後にX線回折,光ルミネセンス,IR分光法,X線光電子スペクトルによる特性評価法を説明した。
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