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J-GLOBAL ID：201702270534470684   整理番号：17A1277151

プラズモン金ナノアンテナ構造を用いたシリコンベース中赤外光検出器【Powered by NICT】

Silicon based mid-infrared photodetectors using plasmonic gold nano-antenna structures

著者 (2件)： Kan Tetsuo (The University of Electro-Communications, Tokyo, Japan) ,  Ajiki Yoshiharu (Micromachine center, Tokyo, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： TRANSDUCERS  ページ： 2159-2162  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： は,n型Siウエハ上に形成されたナノアンテナを用いた中赤外光検出器を開発した。金ナノアンテナは赤外光を効果的に吸収される。各ナノアンテナは直径1.0μm高さの百nmを有し,2μmピッチで配列した。吸収された光子エネルギーは,Crとn型Siの間の界面に形成されるSchottky障壁による光電流に導入した。提案した光検出器を用いて,λ>3.2μm,中赤外光がナノアンテナによる波長4μm付近で動作する中赤外光と逆バイアスによる0.32eV有意に低下したSchottky障壁の吸収増強に起因し検出することができた。この方法は標準的なSi製造プロセスと互換性があるので,赤外光検出用の光検出器を構築するための基本的な方法として役立つであろう。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 波長 ,  *光検出器 ,  互換性 ,  界面 ,  *プラズモン ,  *光検出 ,  Schottky障壁 ,  *金 ,  ケイ素 ,  光電流 ,  生産工程 ,  クロム
準シソーラス用語： 逆バイアス ,  シリコンウエハ ,  *ナノアンテナ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズモン ,  ナノアンテナ ,  シリコン ,  光検出器