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J-GLOBAL ID：201702270616061774   整理番号：17A1751370

マイクロ機械容量式マイクロホンのシミュレーション研究【JST・京大機械翻訳】

Simulation of micro-mechanical capacitive microphone

著者 (4件)： Dong Jian (浙江工業大学浙江省特種装備制造与先進加工技術教育部重点実験室,浙江杭州,310014) ,  Long Zhijian (浙江工業大学浙江省特種装備制造与先進加工技術教育部重点実験室,浙江杭州,310014) ,  Sun Li (浙江工業大学浙江省特種装備制造与先進加工技術教育部重点実験室,浙江杭州,310014) ,  Jin Yanli (浙江工業大学浙江省特種装備制造与先進加工技術教育部重点実験室,浙江杭州,310014)
資料名： Jidian Gongcheng  (Jidian Gongcheng)
巻： 34  号： 1  ページ： 83-87  発行年： 2017年 
JST資料番号： C3426A  ISSN： 1001-4551  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マイクロホン製品の開発コストが高いという問題に対して、マイクロホンの製造プロセスに対して研究を行い、シミュレーション実験の方法を提案し、IntelliSuiteソフトウェアにおけるBlueprintを用いてマイクロホン製作過程で使用するマスクのレイアウトを設計した。IntelliSuiteソフトウェアにおけるIntelliFabモジュールを用いて、マイクロキャパシタ式マイクロホンのプロセスフローシミュレーションを行い、マイクロホンデバイスをシミュレーションし、IntelliSuiteソフトウェア中の3D BUILDER、TEMの2つのサブモジュールを利用した。シミュレーション結果により,マイクロメカニカル静電容量マイクロホンの感度,吸込電圧および固有振動数を得ることができ,そして,このシミュレーションプロセスによって得られた関連パラメータは,マイクロ機械的容量マイクロホンの性能のための参照を提供することができて,そして,マイクロコンデンサの開発および設計プロセスを,指導することができた。分析結果により、このプロセスは実際の開発の製造プロセスを代替でき、製品開発コストを節約する目的を達成できることが分かった。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電圧 ,  ソフトウェア ,  *マイクロマシン ,  静電容量 ,  *シミュレーション ,  固有振動数 ,  生産工程 ,  *マイクロホン ,  製品開発 ,  三次元
準シソーラス用語： デザインプロセス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： capacitive microphone ,  sensitivity ,  pull-in voltage ,  nature frequency ,  sense film

分類 (1件)： 振動論  (BB02020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ機械 ,  マイクロホン ,  シミュレーション ,  研究