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J-GLOBAL ID：201702270752983637   整理番号：17A1096356

WC-Co超硬合金基板上のダイヤモンド膜の蒸着のためのサンドブラスト前処理【Powered by NICT】

Sandblasting pretreatment for deposition of diamond films on WC-Co hard metal substrates

著者 (4件)： Shen Xiaotian (School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Dongchuan Road 800, Minhang District, Shanghai 200240, China) ,  Wang Xinchang (School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Dongchuan Road 800, Minhang District, Shanghai 200240, China) ,  Sun Fanghong (School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Dongchuan Road 800, Minhang District, Shanghai 200240, China) ,  Ding Chaoyue (School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Dongchuan Road 800, Minhang District, Shanghai 200240, China)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 73  ページ： 7-14  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸エッチングと組み合わせたサンドブラストを化学気相堆積(CVD)ダイヤモンド膜の蒸着のためのコバルト超硬合金炭化タングステン基板の前処理として利用した。ダイヤモンド膜は,前処理した表面と同様に対照として二段階アルカリ-酸前処理により処理した基板上に堆積した。電界放出走査電子顕微鏡(FESEM),X線回折(XRD),Raman分光法,ロックウェル硬さ試験機と旋削試験は,それぞれ前処理した基板と蒸着したダイヤモンド膜のキャラクタリゼーションを行った。処理した表面の表面粗さはサンドブラストパラメータを調整することによって制御した。結合相の表面粗さと除去の増大は処理した表面上に検出された。サンドブラストと酸エッチング前処理による多孔質Co枯渇炭化層が二段階前処理と比較して明らかに薄かった。CVDプロセスの核形成段階を研究し,核生成密度はサンドブラスト前処理により明らかに向上した。押込試験は二段階前処理と比較して接着強さの改善を示した。さらに,XRDパターンは,ダイヤモンド膜の残留応力は減少することを示した。旋削試験をサンドブラスト酸前処理によるダイヤモンド被覆工具は,逃げ面摩耗と膜放出の少ない地域を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： Raman分光法 ,  炭化タングステン ,  *超硬合金 ,  試験装置 ,  エッチング ,  接着強さ ,  化学蒸着 ,  炭化 ,  *前処理 ,  残留応力 ,  旋削 ,  コバルト ,  核形成
準シソーラス用語： *サンドブラスティング ,  *ダイヤモンド膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： サンドブラスト ,  CVDダイヤモンド ,  核形成 ,  接着 ,  残留応力

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： WC-Co ,  超硬合金 ,  ダイヤモンド膜 ,  蒸着 ,  サンドブラスト ,  前処理