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J-GLOBAL ID：201702270875383535   整理番号：17A1077094

高品質ファクタRF MEMS可変キャパシタ

High quality factor RF MEMS tunable capacitor

著者 (1件)： HAILU Zewdu (Ryerson Univ., ON, CAN)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 8  ページ： 3719-3730  発行年： 2017年08月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： チューナブルコンデンサの品質係数は,RF回路における信号の電力転送における重要な性能指標である。本稿では,2つの垂直櫛形駆動と,大きなギャップと厚い金属構造を有する1つの平行平板可変キャパシタを統合して設計した高品質ファクタの設計と性能を示した。キャパシタは,厚いニッケル層,MetalMUMP,微細加工プロセスを用いて製造された。製造されたプロトタイプ測定では,品質係数126.7およびチューニング比101%が達成されたことが示された。コンデンサーは指の数と長さを増やし,寄生容量を減らすことにより,高い同調比と高品質係数に最適化された。最適化されたコンデンサの最大品質係数および同調比は,それぞれ520および143.1%である。コンデンサ構造の最適化はまた,駆動DC電圧を減少させた。

シソーラス用語： *MEMS ,  *可変コンデンサ ,  *係数 ,  電気回路 ,  *微細加工 ,  *漂遊容量 ,  電圧
準シソーラス用語： *品質係数 ,  RF回路 ,  *寄生容量 ,  駆動電圧

分類 (2件)： 混成集積回路  (NC03163K) ,  LCR部品  (NA05030D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高品質 ,  ファクタ ,  RF ,  MEMS ,  可変キャパシタ