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J-GLOBAL ID：201702270888066783   整理番号：17A1647204

各種材料を用いたUHFにおけるディスク共振器のアンカー損失制限されたQ因子分析【Powered by NICT】

Anchor loss limited Q factor analysis of disk resonator at UHF using various materials

著者 (2件)： Mol Sana (Department of Electronics and Communication Engineering, LBS Institute of Technology for Women, Thiruvananthapuram, India) ,  Resmi R. (Department of Electronics and Communication Engineering, LBS Institute of Technology for Women, Thiruvananthapuram, India)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICCPCT  ページ： 1-5  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面マイクロマシン加工共振器とフィルタは様々なRF応用のための魅力的である。本稿ではUHF周波数で様々な材料を用いたRF MEMSディスク共振器の品質因子(Q)を解析した。ディスク共振器Q値は材料のエネルギー密度の減少と共に増加し他の全ての形状を一定に保つことが分かった。Q因子が増すと,素子の感度も増加した。ディスク共振器をシミュレートし,アンカー損失制限されQ因子はPMLを用いて見出した。アンカー減衰は共振器Q因子を決定する制限損失機構である。ディスク共振器のQ因子は,COMSOL Multiphysicsを用いて異なる固有周波数値で解析した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： フィルタ ,  *円板 ,  *Q値 ,  エネルギー密度 ,  マイクロマシン ,  *共振器 ,  固有振動数 ,  周波数
準シソーラス用語： COMSOL ,  品質因子 ,  RF MEMS , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (8件)： UHF ,  ディスク ,  共振器 ,  アンカー ,  損失 ,  制限 ,  Q因子 ,  分析