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J-GLOBAL ID：201702271076831277   整理番号：17A1637417

TU形状の信頼性を評価するための不適切な型設計の破壊モードの研究【Powered by NICT】

Failure mode study of inappropriate type design to evaluate reliability on TU geometry

著者 (2件)： Chen Yi Heng (Reliability & Failure Analysis Dept., No. 12, Li-Hsin Rd.1, Hsinchu Science Park, Hsinchu, Taiwan, R.O.C.) ,  Lo Chih Liang (Reliability & Failure Analysis Dept., No. 12, Li-Hsin Rd.1, Hsinchu Science Park, Hsinchu, Taiwan, R.O.C.)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IPFA  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,不適切なTU(トップCu金属線)形状設計は,製品信頼性故障問題を誘導することを見出した。,ウエハ試験プローブ問題と乏しい適合性を持つ,TU形状は破壊になるウエハ試験プローブのストレスに耐えることができなかった。不適切なTU幾何学のために設計回路特性の主要な欠点があった。信頼性推定は,これら二TU形状ごとに異なる性能を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *信頼性 ,  金属線 ,  幾何学 ,  回路特性 ,  *破壊モード ,  適応性 ,  故障 ,  プローブ
準シソーラス用語： 形状設計 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 信頼性  (KB04040H)

タイトルに関連する用語 (6件)： TU ,  評価 ,  型 ,  設計 ,  破壊モード ,  研究