文献

J-GLOBAL ID：201702271458359850   整理番号：17A0445471

反応的にスパッタした超高温Hf-CとTa-C被覆【Powered by NICT】

Non-reactively sputtered ultra-high temperature Hf-C and Ta-C coatings

著者 (9件)： Lasfargues H. (Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, A-1060 Wien, Austria) ,  Glechner T. (Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, A-1060 Wien, Austria) ,  Koller C.M. (Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, A-1060 Wien, Austria) ,  Paneta V. (Department of Physics and Astronomy, Uppsala University, SE-75120 Uppsala, Sweden) ,  Primetzhofer D. (Department of Physics and Astronomy, Uppsala University, SE-75120 Uppsala, Sweden) ,  Kolozsvari S. (Plansee Composite Materials GmbH, D-86983 Lechbruck am See, Germany) ,  Holec D. (Department of Physical Metallurgy and Materials Testing, Montanuniversitaet Leoben, A-8700 Leoben, Austria) ,  Riedl H. (Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, A-1060 Wien, Austria) ,  Mayrhofer P.H. (Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, A-1060 Wien, Austria)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 309  ページ： 436-444  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 遷移金属炭化物は,それらの例外的な熱安定性と機械的性質で知られている,特に炭素含有量と非金属副格子上の一般的な空格子点によって支配される。しかし,反応性蒸着技術を用いた場合,非晶質C含有相の形成がしばしば観察される。HfC_0 0.89またはTaC_0 0.97ターゲットの非反応性マグネトロンスパッタリングは,完全に結晶性のコーティングをもたらすことを示した。それらのC含有量はターゲット-基板配向に依存し,世界的にバイアス電位を増加させる浮遊から 100VへのHfC_0 0.66からHfC_0 0.76とTaC_0 0.69からTaC_0 0.75まで増加し,それぞれ,500°Cの基板温度T_subを用いた場合700°CまでT_subを増加TaC_0 0.71TaC_0に0.81からの変動をもたらした。全てHfC_y膜は単相面心立方晶であるが,TaC_y膜は六方晶Ta_2C相の小さな画分を含んでいた。研究したすべての皮膜の中で最高の硬度と弾性率は41.9±0.3GPa,466.8±15GPaのTaC_0 0.75で得られた。ab initio計算は,特にTa-C系における,C副格子上での空格子点と高温での欠陥構造の温度駆動安定化の容易な形成を予測し,Ta-CよりHf-C C副格子にわずかの空孔を有する。予測した相安定性は真空中でのアニーリング実験による両系の2400°Cまでの証明した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 相安定性 ,  六方晶系 ,  焼なまし ,  炭化物 ,  *高温 ,  基板温度 ,  副格子 ,  *超高温 ,  反応性 ,  硬度 ,  結晶度 ,  熱安定性 ,  単相
準シソーラス用語： 第一原理計算 ,  反応性マグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： HfC ,  TaC ,  非反応性スパッタ蒸着 ,  空格子点 ,  UHTC ,  密度汎関数理論(DFT)

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  腐食  (WB03030B)

タイトルに関連する用語 (4件)： スパッタ ,  超高温 ,  HF ,  ta-C