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J-GLOBAL ID：201702271571821733   整理番号：17A0950453

ジブロックコ共重合体に基づくナノスケールの横方向の長さ基準に向けて

Toward Lateral Length Standards at the Nanoscale Based on Diblock Copolymers

著者 (15件)： APRILE Giulia (Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, Torino, ITA) ,  APRILE Giulia (Universita del Piemonte Orientale “A. Avogadro”, Alessandria, ITA) ,  LUPI Federico Ferrarese (Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, Torino, ITA) ,  LUPI Federico Ferrarese (IMM, CNR, Agrate Brianza, ITA) ,  FRETTO Matteo (Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, Torino, ITA) ,  ENRICO Emanuele (Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, Torino, ITA) ,  DE LEO Natascia (Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, Torino, ITA) ,  BOARINO Luca (Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, Torino, ITA) ,  VOLPE Flavio Giovanni (IMM, CNR, Agrate Brianza, ITA) ,  SEGUINI Gabriele (IMM, CNR, Agrate Brianza, ITA) ,  SPARNACCI Katia (Universita del Piemonte Orientale “A. Avogadro”, Alessandria, ITA) ,  GIANOTTI Valentina (Universita del Piemonte Orientale “A. Avogadro”, Alessandria, ITA) ,  LAUS Michele (Universita del Piemonte Orientale “A. Avogadro”, Alessandria, ITA) ,  GARNAES Jorgen (Danish Inst. of Fundamental Metrology (DFM), Kongens Lyngby, DNK) ,  PEREGO Michele (IMM, CNR, Agrate Brianza, ITA)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 9  号： 18  ページ： 15685-15697  発行年： 2017年05月10日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 装置の較正のための長さの標準の実現のためのリソグラフィーの道具としてジブロックコポリマー(DBC)膜を調べた。Si(100)基板上に100nmの厚さの熱SiO₂を使用してレジストを塗布し,周期的なパターンを一連のトレンチ群として形成した。ブロック共重合体は市販の非対称PS-b-PMMA(54kgmol^-1),PDI=1.07,PS体積分率0.71)DBCを使用した。トレンチの縦(L_ol)と横(L_OW)方向におけるDBCの中心間の格子パラメータを測定した。その結果,L_olは27.8~28.7nmの範囲で変動し,L_OWは24.9~30.8nmであった。L_olの変動とL_OWの変動を制御することにより,DBCをプローブの顕微鏡装置のための長さの標準として使用する戦略が可能である。

シソーラス用語： *ジブロック共重合体 ,  ナノ構造 ,  横方向 ,  *長さ ,  標準 ,  キャリブレーション ,  *リソグラフィー ,  *高分子膜 ,  ケイ素 ,  二酸化ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  膜厚 ,  レジスト ,  パターン形成 ,  溝 ,  非対称性 ,  ポリスチレン ,  ポリメタクリル酸メチル ,  体積率 ,  格子定数 ,  プローブ ,  自己組織化 ,  長さ測定

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 共重合体 ,  ナノスケール ,  横方向