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J-GLOBAL ID：201702271680056702   整理番号：17A1713079

紫外波長付近でのサブ波長格子操作を用いた垂直入射配置を用いた高感度屈折率センサ【Powered by NICT】

High-sensitivity refractive index sensor with normal incident geometry using a subwavelength grating operating near the ultraviolet wavelength

著者 (4件)： Takashima Yuusuke (Graduate School of Technology, Industrial and Social Science, Tokushima University, 2-1 Minami-Josanjima, Tokushima 770-8506, Japan) ,  Takashima Yuusuke (Research Fellow of Japan Society for the Promotion of Science, Japan Society for the Promotion of Science, 5-3-1 Kojimachi, Chiyoda, Tokyo 102-0083, Japan) ,  Haraguchi Masanobu (Graduate School of Technology, Industrial and Social Science, Tokushima University, 2-1 Minami-Josanjima, Tokushima 770-8506, Japan) ,  Naoi Yoshiki (Graduate School of Technology, Industrial and Social Science, Tokushima University, 2-1 Minami-Josanjima, Tokushima 770-8506, Japan)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 255  号： P2  ページ： 1711-1715  発行年： 2018年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 初めて実証した,垂直入射光形状を有するSi_3N_4サブ波長格子(SWG)を用いた紫外(UV)波長領域に近い高感度屈折率センサ。Si_3N_4SWG内の固有モードを用いて,屈折率の高感度は有限差分時間領域計算によって予想され,斜め入射幾何学はない。提案したSWGを作製し,UV波長付近で動作する高感度屈折率センサを実験的に,成功裏に開発した。作製したSWGを通しての垂直透過強度は屈折率のわずかな変化で大きく変化する。SWGの実験感度は1240%/屈折率単位(RIU)に達し,感度は計算と良い一致を示した。これらの実験結果は,垂直入射形状を屈折率センサは8.06×10~ 4RIUの屈折率変化を測定することができることを示唆する,光学検出システムは1%の強度変化を測定することができる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *高感度 ,  固有モード ,  光検出 ,  *サブ波長 ,  *屈折率 ,  *波長 ,  幾何学
準シソーラス用語： *屈折率センサー ,  斜め入射 ,  時間領域 ,  波長領域 ,  *高感度屈折率センサ ,  *垂直入射 ,  *サブ波長格子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： サブ波長 ,  屈折率センサ ,  格子

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  屈折及び反射の測定と装置  (BD07060V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 波長 ,  サブ波長格子 ,  垂直入射 ,  高感度屈折率センサ