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J-GLOBAL ID：201702271692197841   整理番号：17A1021088

NiPd単一および5X(Ni/Pd)多層薄膜のフェムト秒レーザ処理【Powered by NICT】

Femtosecond laser processing of NiPd single and 5x(Ni/Pd) multilayer thin films

著者 (10件)： Petrovic S. (Institute of Nuclear Sciences Vinca, University of Belgrade, POB 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  Gakovic B. (Institute of Nuclear Sciences Vinca, University of Belgrade, POB 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  Zamfirescu M. (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, POB MG-36, Magurele, Ilfov, Romania) ,  Radu C. (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, POB MG-36, Magurele, Ilfov, Romania) ,  Perusko D. (Institute of Nuclear Sciences Vinca, University of Belgrade, POB 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  Radak B. (Institute of Nuclear Sciences Vinca, University of Belgrade, POB 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  Ristoscu C. (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, POB MG-36, Magurele, Ilfov, Romania) ,  Zdravkovic S. (Institute of Nuclear Sciences Vinca, University of Belgrade, POB 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  Luculescu C.L. (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, POB MG-36, Magurele, Ilfov, Romania) ,  Mihailescu I.N. (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, POB MG-36, Magurele, Ilfov, Romania)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 417  ページ： 16-22  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フェムト秒時間領域におけるレーザ処理による単一および複合ニッケル-パラジウム試料の改質を研究した。試料は775nmレーザ波長,繰返し速度2kHz,200fsのパルス幅で集束されたTi:サファイアレーザビーム(Clark CPA2101)によって処理した。レーザ誘起形態変化は印加フルエンスへの依存性とレーザパルス数を示した。単一NiPd/Siと多層5X(Ni/Pd)/Si系上に形成された表面ナノ構造は,個々のNiおよびPd薄膜と比較した。結果は,表面粗さ,平行な周期的表面構造の形成,流体力学的特徴の出現と表面材料のアブレーションにおける増加を示した。低パルス数(10以下のパルス)と低パルスエネルギー範囲(μJ1.7ではない)で,二種類のレーザ誘起周期的表面構造(LIPSS)を観測することができる:低及び高空間周波数LIPSS(HSFLとLSFL)。全ての試料に対して,測定したLSFL周期は単一パルス作用中の薄膜表面にのみ生成されたリップルの720nmであった。多重パルス照射の場合には,全ての調べた薄膜上に生成されたLSFLsの周期はパルスエネルギーの増加と共に減少する傾向を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *多層 ,  *薄膜 ,  パルス ,  パルス幅 ,  *多層膜 ,  周期構造 ,  表面構造 ,  *レーザ ,  *ニッケル ,  *フェムト秒レーザ ,  レーザパルス ,  *パラジウム ,  *フェムト秒
準シソーラス用語： パルスエネルギー ,  レーザ誘起 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (2件)： レーザ処理 ,  周期構造

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (4件)： Ni ,  Pd ,  多層薄膜 ,  フェムト秒レーザ