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J-GLOBAL ID：201702271772770793   整理番号：17A1708225

Au注入したCrN薄膜中の金粒子のクラスタ化:SPRピーク位置に及ぼす影響【Powered by NICT】

Clustering of gold particles in Au implanted CrN thin films: The effect on the SPR peak position

著者 (7件)： Novakovic M. (University of Belgrade, Institute of Nuclear Sciences VINCA, 11351, Belgrade, Serbia) ,  Popovic M. (University of Belgrade, Institute of Nuclear Sciences VINCA, 11351, Belgrade, Serbia) ,  Schmidt E. (Institute of Solid State Physics, Friedrich Schiller University Jena, Max-Wien-Platz 1, D-07743, Jena, Germany) ,  Mitric M. (University of Belgrade, Institute of Nuclear Sciences VINCA, 11351, Belgrade, Serbia) ,  Bibic N. (University of Belgrade, Institute of Nuclear Sciences VINCA, 11351, Belgrade, Serbia) ,  Rakocevic Z. (University of Belgrade, Institute of Nuclear Sciences VINCA, 11351, Belgrade, Serbia) ,  Ronning C. (Institute of Solid State Physics, Friedrich Schiller University Jena, Max-Wien-Platz 1, D-07743, Jena, Germany)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 426  ページ： 667-673  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Au~+イオン注入によって引き起こされた280nmの薄い多結晶CrN層中の金粒子の形成について報告する。CrN層は,Si(100)ウエハ上に直流反応性スパッタリングにより150°Cで堆積し,その後,150keVのAu~+イオンを室温で注入した2×10~16cm~ 2のフルエンス4.1×10~16cm~ 2にした。注入層をRutherford後方散乱分光,X線回折,原子間力顕微鏡と分光偏光解析測定により分析した。の結果は,Au原子は注入したCrN層の表面近傍領域に位置していることを明らかにした。2×10~16cm~ 2のフルエンスで直径~200nmのAu粒子の形成が観察された。Auイオンフルエンスを増加させると粒子は~1.7μmの大きさのクラスターに合体する。合成された粒子は,表面プラズモン共鳴(SPR)の励起に関連した強い吸収ピークを示した。Au~+イオンフルエンスは2×10~16cm~ 2から4.1×10~16cm~ 2まで変化させたとき,SPRピークの位置は426.8 690~3.5nmの範囲でシフトした。粒子サイズとクラスタ化の変化に起因するピーク波長のシフトの相関を明らかにした,Au粒子間の相互作用は表面プラズモン共鳴効果を支配していることを示唆している。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *金 ,  *薄膜 ,  *クラスタ ,  相互作用 ,  Rutherford後方散乱 ,  多結晶 ,  イオン注入 ,  X線回折 ,  粒度 ,  フルエンス ,  原子間力顕微鏡 ,  反応性スパッタリング ,  *クラスタ化
準シソーラス用語： イオンフルエンス ,  *金粒子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 窒化クロム ,  金粒子 ,  イオン注入 ,  表面プラズモン共鳴効果

分類 (4件)： その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体プラズマ  (BM02160W)

タイトルに関連する用語 (7件)： Au ,  注入 ,  薄膜 ,  金粒子 ,  クラスタ化 ,  SPR ,  ピーク位置