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J-GLOBAL ID：201702271871626083   整理番号：17A0557708

透明導電性パラジウム及び水素同時ドープ酸化カドミウム薄膜の開発

Development of transparent conducting palladium and hydrogen-codoped cadmium oxide thin films

著者 (1件)： DAKHEL A.A. (Univ. Bahrain, Zallaq, BHR)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 28  号： 6  ページ： 4856-4862  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化カドミウム(CdO)は,応用分野が広い透明導電性酸化物(TCO)材料であり,応用の多くは,その独特な電気伝導性,あるいは,近赤外(NIR)スペクトル領域における光透過性のいずれかに関係する。ここでは,パラジウム(Pd)及び水素(H)同時ドープCdO薄膜を調製できることを示す。構造評価の結果から,Pdイオンのドーピングは,特に,水素化が約6%のドーピングレベルで,[111]選択方位成長を強く促進することが分った。15重量%のPdをドープした水素化CdO膜において,最高の移動度(32.02cm²/Vs),伝導率(4.6948×10³S/cm)及びキャリア濃度(9.16×10²⁰cm^-3)が得られた。この結果から,CdO:Pd-H膜を~10²¹cm^-3の高いキャリア濃度を持ちながらTCO応用に用いることができる可能性を確認した。

シソーラス用語： *酸化カドミウム ,  *透明導電膜 ,  *ドーピング ,  パラジウム ,  水素 ,  X線回折 ,  紫外可視吸収スペクトル ,  バンドギャップ ,  電気抵抗率 ,  キャリア移動度 ,  キャリア密度 ,  構造解析 ,  優先配向
準シソーラス用語： キャリア濃度

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 導電性 ,  パラジウム ,  水素 ,  ドープ ,  酸化カドミウム ,  薄膜 ,  開発