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J-GLOBAL ID:201702271992174128   整理番号:17A0926450

マイクロ/ナノスケール表面トポグラフィーに関係するマイクロチャネルにおける自己流動速度における実験研究

Experimental study on self-flowing speed in microchannel related to micro-/nanoscale surface topographies
著者 (4件):
資料名:
巻: 21  号:ページ: 106,1-9  発行年: 2017年06月 
JST資料番号: A1036A  ISSN: 1613-4982  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,チップ表面上のマイクロチャネル自己流動を,マイクロチャネルの内部で提案した。マイクロチャネルのマイクロ/ナノスケールトポグラフィーが,マイクロ流体流動速度にいかに影響するかの理解を目的とした。ダイヤモンド砥石微小チップによる微小研削は,チップ表面上に正確で平滑なV形状マイクロチャネルを制作できた。研削において,砥石微小チップの機械力は,延性ポリマよりむしろもろい石英ガラスのマイクロチャネル周囲にナノスケール表面亀裂を生成した。マイクロ流体流動端高さの増加は,自己流動速度における増大に導いた。ナノメータスケール亀裂発生は,平滑マイクロチャネルと比較して,流動速度を27%向上した。マイクロチャネルの表面チップ角度と対照的に,マイクロチャネルチップ角度は,流動端高さの増加とともに,マイクロ流体流動を大きく誘起した。
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般  ,  管内流 

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