文献

J-GLOBAL ID：201702272115809305   整理番号：17A0364717

細長い管の内表面上のダイヤモンド状炭素膜の蒸着における自己増強されたプラズマ放電効果【Powered by NICT】

Self-enhanced plasma discharge effect in the deposition of diamond-like carbon films on the inner surface of slender tube

著者 (8件)： Xu Yi (Department of 702, Beihang University, Beijing, PR China) ,  Li Liuhe (Department of 702, Beihang University, Beijing, PR China) ,  Luo Sida (Department of 702, Beihang University, Beijing, PR China) ,  Luo Sida (International Research Institute for Multidisciplinary Science, Beihang University, Beijing, PR China) ,  Lu Qiuyuan (Dong Feng Commercial Vehicle Technical Center, Dong Feng Commercial Vehicle Co., LTD, Wuhan, PR China) ,  Gu Jiabin (Department of 702, Beihang University, Beijing, PR China) ,  Lei Ning (Department of 702, Beihang University, Beijing, PR China) ,  Huo Chunqin (Key Laboratory of Optoelectronic Devices and Systems of Ministry of Education, Shenzhen University, Guangdong, PR China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 393  ページ： 467-473  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 増強グロー放電プラズマ浸漬イオン注入と堆積(EGD PIII&D)は1.3μm/minの蒸着速度で細長い石英管の内部表面上のダイヤモンド状炭素(DLC)膜を堆積させるために非常に有効であることが証明された。電子と中性粒子間の大きな衝突頻度を引き起こす短い電子平均自由行程のような高効率DLC膜蒸着は,以前に説明した。しかし,本論文では,管自身の内部表面材料は膜堆積に及ぼす重要な役割を果たすことを見出した。この現象の機構を明らかにするために,プラズマ放電に及ぼす種々の内部表面材料の影響を実験と理論で調べた。自己高揚プラズマ放電が発見されている。,管内面または蒸着したDLC膜がどうであれ,内面材料から放出される二次電子は劇的にDLC膜堆積速度を改善するためのプラズマ放電を高めることができることが分かった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *蒸着 ,  堆積速度 ,  中性粒子 ,  グロー放電 ,  DLC膜 ,  *ダイヤモンド状炭素
準シソーラス用語： 二次電子 ,  高効率 ,  石英管 ,  蒸着速度 ,  *プラズマ放電 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 増強グロー放電プラズマ浸漬イオン注入及び蒸着(EGD PIII&D) ,  ダイヤモンド状炭素(DLC) ,  内部表面 ,  自己増強されたプラズマ放電

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (7件)： 管 ,  内表面 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  蒸着 ,  自己 ,  増強 ,  プラズマ放電