大気圧誘電体バリア放電における2単量体のガス流とプラズマ共重合のモデル化【Powered by NICT】

Obrusnik A.; Obrusnik A.; Jelinek P.; Jelinek P.; Zajickova L.; Zajickova L.

文献

J-GLOBAL ID：201702272201021126 整理番号：17A0697837

大気圧誘電体バリア放電における2単量体のガス流とプラズマ共重合のモデル化【Powered by NICT】

Modelling of the gas flow and plasma co-polymerization of two monomers in an atmospheric-pressure dielectric barrier discharge

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資料名：
巻： 314 ページ： 139-147 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

大気圧誘電体バリア放電におけるマレイン酸無水物とアセチレンのプラズマ共重合の実験的および数値的複合研究を示した。未知のプラズマ化学を減少させるいくつかの平均種に堆積の半解析的モデルと現実に近い形状における気体力学の三次元モデルを組み合わせたものである。モデルの未知の係数は,種々の析出条件における膜厚の測定とを相関させることによって見出される。モデルは空間分解厚さに基づくのみ較正したにもかかわらず,FT-IRを用いて証明された,膜組成に関する有効な予測を行うことである。モデルの予測能力は,独立した実験モデルは,キャリブレーション領域以外の場所においてもその予測能力を保持していることを示しで試験した。研究は,特定の堆積過程についてより多くの情報を提供するだけでなくを目的としているが,それはまたプロセス制御と設計における数値モデリングの効率的利用を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

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有機化合物の薄膜 , 固-液界面

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