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J-GLOBAL ID：201702272240585230   整理番号：17A0496532

改良レバー支持システムを有する対称デカップリングデュアルマスマイクロジャイロスコープの研究

Research of a symmetrical decoupled dual-mass micro-gyroscope with an improved lever support system

著者 (5件)： YANG Bo (Southeast Univ., Nanjing, CHN) ,  YANG Bo (Key Lab. of Micro-Inertial Instrument and Advanced Navigation Technol., Ministry of Education, Nanjing, CHN) ,  HU Di (Southeast Univ., Nanjing, CHN) ,  WANG Xingjun (Southeast Univ., Nanjing, CHN) ,  WU Lei (Southeast Univ., Nanjing, CHN)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 3  ページ： 799-810  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本文では,改良レバー支持システムを備えた対称デカップリングデュアルマスマイクロジャイロスコープ(SDDMG)の研究を提示した。SDDMGの改良レバー支持システムの動作原理,構造設計,シミュレーション,製造,信号測定,および制御について説明した。SDDMGの2つの質量は,駆動モードだけでなく,検知モードにおいても弾性的にリンクされており,製造誤差があっても同位相モードおよび逆位相モードで同時に共振駆動することができる。Ansysソフトウェアを使用してSDDMGの構造シミュレーションを行い,モードと構造パラメータを最適化した。信号処理回路をFPGAに実装した。ディープドライシリコンオングラスプロセス(DDSOG)を用いてSDDMGチップを作製した。周波数掃引実験結果は,モードが3328.8Hzの同相駆動周波数,3530.8Hzの逆相駆動周波数,3380.0Hzの同相検出周波数および3579.1Hzの逆相検出周波数を有することを示した。回転速度感度実験では,15.13mV/°/sの速度感度であった。従来のマイクロジャイロスコープの加速度感度を比較すると,最大加速度感度は3.18倍低下し,モード最適化が実現可能であることが分かった。SDDMGのバイアス不安定性は,Allan分散分析の結果,真空環境下で2.38°/hであった。

シソーラス用語： 梃子 ,  支持物 ,  *ジャイロスコープ ,  *対称性 ,  *デカップリング ,  質量 ,  モデル ,  *構造設計 ,  *シミュレーション ,  *構造パラメータ ,  *FPGA ,  周波数変動 ,  分散【variance】 ,  分散分析 ,  *共振周波数 ,  *マイクロマシニング
準シソーラス用語： 二重質量 ,  運動モデル ,  Allan分散 ,  周波数掃引

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (4件)： レバー ,  支持システム ,  対称 ,  研究