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J-GLOBAL ID：201702272505994233   整理番号：17A1950541

銀ナノ構造が拓く光機能性材料のフロンティア 解説 ナノコーティングリソグラフィー法

Nanocoating Lithography Technique

著者 (1件)： 久保若奈 (東京農工大 大学院)
資料名： 日本写真学会誌  (日本写真学会会誌)
巻： 80  号： 4  ページ： 289-291  発行年： 2017年11月25日 
JST資料番号： G0165A  ISSN： 0369-5662  CODEN： NSGKAP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： トップダウン加工技術が有する高スループット性と,ボトムアップ技術が示す高解像性を併せ持つ微細加工技術,ナノコーティングリソグラフィー法について紹介する。薄膜の塗布と被膜の選択的除去のプロセスからなるこの手法は,ナノフィン構造やナノピラー構造など,金属ナノ構造体配列の簡便な作製を可能にする。ナノ構造体は金属であるため,導電性を有し,また形やサイズに応じた特定の波長域にプラズモン共鳴を示す。本稿では,ナノコーティングリソグラフィー法による金属ナノ構造体の作製と,電気・光特性を利用した応用例について述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： 材料 ,  *ナノ粒子 ,  *銀 ,  微細構造 ,  *被覆 ,  *ナノ構造 ,  微細加工 ,  *リソグラフィー ,  プラズマ共鳴
準シソーラス用語： *ナノコーティング ,  プラズモン共鳴 ,  銀ナノ粒子 ,  *光機能性材料

分類 (3件)： 感光材料  (ZA03020Q) ,  金属系複合材料一般  (WE04010V) ,  固体プラズマ  (BM02160W)

引用文献 (10件)：

• 1) S. A. Maier, H. A. Atwater, J. Appl. Phys., 98, 011101, (2005).
• 2) S. Fujikawa, R. Takaki, T. Kunitake, Langmuir, 22, 9057, (2006).
• 3) W. Kubo, H. Hayakawa, K. Miyoshi, S. Fujikawa, J. Nanosci. Nanotechnol., 11, 131, (2011).
• 4) W. Kubo, S. Fujikawa, J. Mater. Chem., 19, 2154, (2009).
• 5) M. Ishii, K. Iwami, N. Umeda, Opt. Express, 24, 7966, (2016).

タイトルに関連する用語 (3件)： 銀 ,  ナノ構造 ,  光機能性材料