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J-GLOBAL ID：201702272591096908   整理番号：17A1452661

化学的に堆積した炭素膜の形態構造のスイッチング動力学 新たな洞察【Powered by NICT】

Switching dynamics of morphology-structure in chemically deposited carbon films - A new insight

著者 (2件)： Ali Mubarak (Department of Physics, COMSATS Institute of Information Technology, Islamabad, 45550, Pakistan) ,  UErgen Mustafa (Department of Metallurgical and Materials Engineering, Istanbul Technical University, 34469, Maslak, Istanbul, Turkey)
資料名： Carbon  (Carbon)
巻： 122  ページ： 653-663  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0270B  ISSN： 0008-6223  CODEN： CRBNA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭素は最も研究されている材料の一つである,その発生した構造のカオス的挙動を示した。合成炭素材料は,堆積法,プロセスパラメータ,基板表面の状態と気体化学の比に大きく依存する。種々の方法は,種々の基板材料への種々のガス混合物からの炭素膜を蒸着するために採用した。本研究では,それらの合成プロセスは新しい文脈で説明されている炭素薄膜と厚膜を,熱フィラメント化学蒸着とマイクロ波プラズマ化学蒸着として知られている異なる方法について議論した。,原子(またはそれらの小さな結晶粒)の動力学数ナノメートルで数ミクロン膜厚の全体的な形態構造をコントロールしている全ての種類の微細な結晶粒,結晶粒および晶子の形成における結合原子の原因である結晶粒または結晶と電子動力学の特別な相への融合を検討した。炭素原子固体状態,アマルガム化均一電子動力学下の結合への平面結果と融合は不均一表面である場合に,(原子レベルでさえ),不均一電子動力学下の結合をもたらす。原子の結合は一様な電子動力学である場合には,グラファイト構造は核として知られている原子の内部の中心に関して異なる改質による発展する電子状態の配向に依存して他の炭素相。適切な表面欠陥や摩耗下で基板は小さな結晶粒の核生成,成長の増加速度の改良された速度をもたらす。本試験によって,局所的なプロセスパラメータに加えて基板の性質も形成の初期段階で小さなクラスタ,結晶粒および晶子の形成の動力学に影響する炭素膜の研究されていない科学に乗り出す。結果と議論は,スケールと異なる組成を構成する基板表面での異なる種類の膜の核形成と成長機構を再検討し堆積することを説明した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *炭素 ,  結晶粒 ,  クラスタ ,  固相 ,  厚膜 ,  表面欠陥 ,  膜厚 ,  炭素材 ,  混合気体 ,  *スイッチング ,  プロセスパラメータ ,  核形成
準シソーラス用語： 電子動力学 ,  クリスタリット ,  *炭素膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (8件)： 炭素膜 ,  プロセスパラメータ ,  Dynamics ,  Deposition ,  形態構造 ,  Grains ,  Crystallites ,  現場力

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (7件)： 化学 ,  堆積 ,  炭素膜 ,  形態 ,  スイッチング ,  動力学 ,  洞察