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J-GLOBAL ID：201702272927238592   整理番号：17A0637546

MEMSにおける圧電梁のフラッタ解析

FLUTTER ANALYSIS OF PIEZOELECTRIC BEAMS IN MEMS

著者 (2件)： ARDITO Raffaele (Politecnico di Milano, Milan, ITA) ,  MUSCI Rocco (Politecnico di Milano, Milan, ITA)
資料名： 宇宙航空研究開発機構特別資料 JAXA-SP-(Web)  (JAXA Special Publication (Web))
号： 16-008E  ページ： 121-130 (WEB ONLY)  発行年： 2017年03月15日 
JST資料番号： U0875A  ISSN： 2433-2232  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム(MEMS)は,微小センサおよびアクチュエータを得るために,エレクトロニクスとメカニクスとの間のスマート結合で特徴付けられる,莫大な種類のデバイスである。MEMSにおける圧電材料の使用は,「直接効果」,例えばエネルギハーベスタ,および共鳴器,マイクロポンプその他アクチュエータのような「間接的な影響」の両方を考えると,着実に増加している。本論文は,MEMSが流体システムに埋め込まれている場合に起こる流体流れと構造の相互作用による空力弾性効果の存在下での圧電積層梁の研究に専念した。より具体的には,流体の流れからエネルギーハーベスティングに焦点を当てたさらなる研究のための確かな基礎を提供する目的で,フラッター不安定性の開始のための分析条件を研究した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： MEMS ,  *圧電材料 ,  相互作用 ,  エネルギー変換 ,  *フラッタ ,  空力弾性 ,  *梁 ,  積層構造
準シソーラス用語： MEMSデバイス ,  流体-構造相互作用 ,  エネルギーハーベスティング

分類 (1件)： 梁,桁  (HD03020H)

引用文献 (14件)：

• Jacobsen, H., Prume, K., Wagner, B., Ortner, K., and Jung, T. : High-rate sputtering of thick PZT thin films for MEMS. J. of Electroceramics, Vol. 25, pp. 198-202, 2010.
• Kim, S.-G., Priya, S., and Kanno, I. : Piezoelectric MEMS for energy harvesting. MRS Bulletin, Vol. 37, pp. 1039-1050, 2012.
• Jeon, Y., Sood, R., Jeong, J.-H., and Kim, S.-G. : MEMS power generator with transverse mode thin film PZT. Sens. Act., A: Phys., Vol. 122, pp. 16-22, 2005.
• Ardito R., and Musci R.: MEMS energy harvesters based on aeroelastic phenomena, Proc. of the 11th World Congress on Computational Mechanics (WCCM), Barcelona, Spain, 2014
• Scanlan, R.H., and Simiu, E. : Wind effects on Structures, John Wiley and Sons Inc., 3rd edition, 1996.

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  圧電 ,  梁 ,  フラッタ ,  解析