Pt/ゾルゲルで作ったSrTiO<sub>3</sub>薄膜/Alキャパシタの陽極酸化に与える電極コンタクトの影響

YAO Manwen; LI Fei; LI Qiuxia; XU Kaien; YAO Xi

文献

J-GLOBAL ID：201702273419173167 整理番号：17A0504478

Pt/ゾルゲルで作ったSrTiO₃薄膜/Alキャパシタの陽極酸化に与える電極コンタクトの影響

The influence of electrode contact on the anodization of Pt/sol-gel derived SrTiO₃ thin film/Al capacitor

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資料名：
巻： 28 号： 2 ページ： 1572-1576 発行年： 2017年01月
JST資料番号： W0003A ISSN： 0957-4522 CODEN： JMTSAS 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

電Pt/Ti/SiO₂/Si基板上のゾルゲル法を使ってSrTiO₃薄膜をデポジットした。チタン酸ストロンチウムが仕事関数の大きいメタルと接触するとSchottkyコンタクトが形成される。Pt/SrTiO₃/Alコンタクトは上下電極の仕事関数差から非線形の非対称I-V特性を示す。白金電極は大きな仕事関数を持ち,それがメタルとメンブレン界面でのはっきりしたSchottky障壁になる。白金電極が負にバイアスされると障壁高さは増加して界面抵抗が非常に大きくなる。電圧が充分に大きいと障壁は破壊して薄膜とアルミ電極界面の電圧が低下する。ポーラスで構造の緩やかなゾルゲル薄膜は適当な電解質環境となり,アルミ電極で陽極酸化と自己ヒーリングが生じて界面に絶縁層を作りそれがゾルゲルで作ったSrTiO₃薄膜の誘電強度を高める。白金とSrTiO₃界面のSchottky障壁はリーク電流を低下させるが,界面障壁はアルミ電極の陽極酸化と薄膜キャパシタのさらなる誘電強度強化を制限する。

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LCR部品

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Pt/ゾルゲルで作ったSrTiO3薄膜/Alキャパシタの陽極酸化に与える電極コンタクトの影響

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