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J-GLOBAL ID：201702273509967148   整理番号：17A1631472

ピエゾ電気変換器のためのセンサ融合における系統的対確率的誤差の予算編成【Powered by NICT】

Budgeting of Systematic Versus Stochastic Errors in Sensor Fusion for Piezo Electric Transducers

著者 (4件)： Kohl D. (Automation and Control Institute (ACIN), TU Wien, Gusshausstr. 27-29 / E376, 1040 Vienna, Austria) ,  Hoser S. (Automation and Control Institute (ACIN), TU Wien, Gusshausstr. 27-29 / E376, 1040 Vienna, Austria) ,  Saathof R. (Automation and Control Institute (ACIN), TU Wien, Gusshausstr. 27-29 / E376, 1040 Vienna, Austria) ,  Schitter G. (Automation and Control Institute (ACIN), TU Wien, Gusshausstr. 27-29 / E376, 1040 Vienna, Austria)
資料名： IFAC PapersOnLine  (IFAC PapersOnLine)
巻： 50  号： 1  ページ： 7651-7656  発行年： 2017年 
JST資料番号： W3101A  ISSN： 2405-8963  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ピエゾ電気変換器の固有の非線形性,原子間力顕微鏡で使用する位置精度を制限する。線形性を改善するために,伸びは電荷測定により推定することができる。DCの周波数範囲を拡大するために,歪ゲージをセンサ融合によって添加した。センサ融合のために用いられる一次相補フィルタのフィルタパラメータを選択する問題を考察した。電荷と歪ゲージ測定の確率誤差と系統誤差を同定した後,一次相補フィルタの最適パラメータを計算した。応用に依存して異なるフィルタパラメータを同じナノ位置決めシステムのための,確率的誤差,系統誤差または両方の組合せのどれかを最小化した。この方法により電荷モニタリング(234.1 nm)と歪ゲージ測定(347.1 nm)の位置決め不確実性は商用管圧電の140.6nmに減少した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 線形性 ,  非線形性 ,  位置決め ,  伸び ,  *圧電気 ,  不確実性 ,  周波数 ,  *センサフュージョン ,  *変換器 ,  歪計 ,  フィルタ ,  原子間力顕微鏡 ,  電荷 ,  系統誤差
準シソーラス用語： 電荷測定 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： ピエゾ ,  センサ融合 ,  誤差の予算化

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： ピエゾ電気 ,  変換器 ,  センサ融合 ,  系統 ,  予算編成