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J-GLOBAL ID：201702273599864269   整理番号：17A0486728

欧州発表面処理関連技術の最前線レポート 7 FraunhoferFEPの超薄板ガラスへの成膜技術とその応用

著者 (2件)： 鈴木巧一 (サーフテックトランスナショナル) ,  鈴木巧一 (フラウンホーファーFEP)
資料名： 工業材料  (Engineering Materials)
巻： 65  号： 3  ページ： 83-87  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： F0172A  ISSN： 0452-2834  CODEN： KZAIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超薄板ガラスへの成膜技術で世界をリードしているフランホーファーFEPの状況を紹介した。LEDやOLEDなどでは板厚が30~200μで大面積の製品が要求されている。超薄板ガラスの特性はフレキシブルであり,その製法はロールツーロールからオーバーフロー法,フロート法,ダウンドロー法へと進歩している。超薄板ガラスへの反射防止コート形成はデュアルパルスマグネトロンスパッタリングや化学蒸着でなされる。超薄板ガラスへの透明導線膜コート形成方法と超薄板ガラスを用いたOLED照明の実例を紹介した。同社にはほかにも優れた装置があり,読者の活用が期待される。

シソーラス用語： *表面処理 ,  Fraunhofer回折 ,  構成 ,  発光ダイオード ,  板ガラス ,  *フレキシブル基板 ,  生産方式 ,  フロート法 ,  *スパッタリング ,  化学蒸着
準シソーラス用語： LED ,  ロール・ツー・ロール方式 ,  OLED ,  成膜

分類 (1件)： 試料技術  (BA02070O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 欧州 ,  表面処理 ,  レポート ,  薄板 ,  ガラス ,  成膜 ,  応用