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J-GLOBAL ID：201702273652187005   整理番号：17A1476663

極低温用小型電気ヒーターとしての金属薄膜チップ抵抗器

著者 (3件)： 中村祥子 (東大 低温セ) ,  藤井武則 (東大 低温セ) ,  戸田亮 (東大 低温セ)
資料名： 東京大学低温センター年報  (東京大学低温センター年次報告)
号： 8  ページ： 130-133  発行年： 2017年10月 
JST資料番号： F1229A  資料種別： 年次報告 (Y)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・面実装薄膜抵抗器を極低温用電気加熱ヒータとして使用。
・アルミナ基板表面に形成する抵抗体薄膜試料をテスト用に設計。
・通常の磁性チップに加えて,非磁性チップについてもテスト。
・物理特性測定装置PPMSを用いて,2~300k温度範囲での磁場(0~50kOe)における試料の電気抵抗を4端子法により測定。
・MPMSを用いて,磁化曲線を測定。
・試料の磁化極性と帯磁率の温度依存性に高い安定性を確認。
・試料RG3216サイズの抵抗器非磁性タイプであれば,核磁気共鳴などの実験に使用が可能であると判明。
・点熱源としての利用が可能で,新たな実験の可能性を期待。

シソーラス用語： *極低温 ,  *加熱器 ,  *薄膜抵抗器 ,  金属薄膜 ,  半導体チップ ,  テスト構造 ,  磁性薄膜 ,  表面実装 ,  精密測定 ,  電気抵抗 ,  磁化特性 ,  温度依存性 ,  NMR【磁気共鳴】 ,  *マイクロマシニング ,  物理的性質 ,  *熱特性
準シソーラス用語： 加熱ヒータ ,  四端子法 ,  磁化曲線 ,  電気加熱式ヒータ ,  熱物性 ,  非磁性体

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 極低温 ,  電気ヒーター ,  金属薄膜 ,  チップ抵抗器