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J-GLOBAL ID：201702273739724359   整理番号：17A1090262

高性能Mach-Zehnder変調器のためのInP PIC技術

InP PIC technologies for high-performance Mach-Zehnder modulator

著者 (3件)： UEDA Y. (Nippon Telegraph and Telephone Corp., Kanagawa, JPN) ,  OGISO Y. (Nippon Telegraph and Telephone Corp., Kanagawa, JPN) ,  KIKUCHI N. (Nippon Telegraph and Telephone Corp., Kanagawa, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10129  ページ： 1012905.1-1012905.7  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラグ着脱可能で小フォームファクタのコヒーレント・トランシーバ用に,InP系のMach-Zehnder変調器(MZM)を開発した。ここでは,そこに用いたInP系フォトニック集積回路(PIC)の技術を紹介する。まず,低損失で低駆動電圧のMZM用に屈折率差の大きい多重量子井戸(MQW)を設計した。これに基づき,4素子MZMをモノリシックに集積化することにより,双偏波(DP)の同相直交位相変調器(IQM)を作製した。このIQMの半波長動作電圧は1.9V,過剰損失は1dB未満で,これを使って32Gbaudの双偏波・四相位相変調(DP-QPSK)を達成した。二番目は,オーバクラッディングの直流抵抗を減らしRF電極構造を最適化してRF信号損失を減らしたMZMで,これで作製したIQMは,64Gbaud以上の高速動作を示した。もう一つは,3次元半導体プロセスで作製したスポットサイズ変換器(SSC)を組み込んだInP-MZMで,これは従来に比べて挿入損失を3dB改良した。

シソーラス用語： *光変調素子 ,  リン化インジウム ,  *光集積回路 ,  屈折率 ,  多重量子井戸 ,  変調器 ,  QPSK
準シソーラス用語： InP ,  *Mach-Zehnder変調器 ,  *フォトニック集積回路 ,  位相変調器

分類 (1件)： 光変調器  (BD06020W)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高性能 ,  Mach-Zehnder変調器 ,  InP ,  PIC