文献

J-GLOBAL ID：201702274292420719   整理番号：17A0910014

ダイヤモンド様ナノコンポジット膜のフェムト秒レーザ微細構造化【Powered by NICT】

Femtosecond laser microstructuring of diamond-like nanocomposite films

著者 (8件)： Zavedeev E.V. (General Physics Institute, Moscow, Russia) ,  Zilova O.S. (National Research University “Moscow Power Engineering Institute”, Moscow, Russia) ,  Barinov A.D. (National Research University “Moscow Power Engineering Institute”, Moscow, Russia) ,  Shupegin M.L. (National Research University “Moscow Power Engineering Institute”, Moscow, Russia) ,  Arutyunyan N.R. (General Physics Institute, Moscow, Russia) ,  Jaeggi B. (Bern University of Applied Sciences, Institute for Applied Laser, Photonics and Surface Technologies ALPS, Burgdorf, Switzerland) ,  Neuenschwander B. (Bern University of Applied Sciences, Institute for Applied Laser, Photonics and Surface Technologies ALPS, Burgdorf, Switzerland) ,  Pimenov S.M. (General Physics Institute, Moscow, Russia)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 74  ページ： 45-52  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状ナノ複合材料(DLN)膜(a C:H,Si:O)のフェムト秒レーザ表面改質と微細構造,ナノ,ミクロおよびマクロスケールでのレーザマイクロパターン化DLN膜の摩擦特性の研究について報告する。2~3μm厚さのDLNフィルムはフェムト秒レーザ(波長1030nm,パルス幅320fs,パルス繰返し速度101kHz)を用いて照射した40mm~2の領域上の周期的線形マイクロパターンを作製した。レーザ照射は多重パルス照射中に発生した表面黒鉛化と初期アブレーションの条件に対応する低フルエンス(単一パルスアブレーションしきい値以下)で行った。レーザマイクロパターン化DLN膜の摩擦特性は,(i)横方向力顕微鏡(LFM)と(ii)100Cr6鋼とSi_3N_4などの球体に対する線形往復滑りの下でのボール・オン・フラット・トライボメータを用いて研究した。LFM測定はナノからマイクロスケールでの遷移中のレーザパターン化膜の摩擦挙動の顕著な変化を明らかにし,元の膜よりもレーザ黒鉛化ストリップ内のはるかに低い摩擦力を実証した。このような微少摩擦挙動は,(i)レーザ黒鉛化ナノ構造表面の高い疎水性と(ii)‘ナノ’荷重下での摩擦に及ぼす吸着水層の毛管力の強い影響に起因した。fsレーザパターン化されたDLN膜の巨視的摩擦特性は,摩擦対(DLN対鋼球,DLN対Si_3N_4ボール)に依存し,滑りの初期段階での長期間の滑り試験時の両方をすることが分かった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *微細構造 ,  *ダイヤモンド ,  アブレーション ,  パルス ,  ナノ複合材料 ,  摩擦力 ,  鋼 ,  レーザ照射 ,  トライボロジー ,  *フェムト秒 ,  ナノ構造 ,  *フェムト秒レーザ ,  パターン形成 ,  黒鉛化
準シソーラス用語： 摩擦特性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： DLC ,  フェムト秒レーザ ,  表面微細構造化 ,  摩擦力顕微鏡観察 ,  トライボロジー

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (4件)： ダイヤモンド ,  ナノコンポジット膜 ,  フェムト秒レーザ ,  微細構造