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J-GLOBAL ID：201702274336010659   整理番号：17A1862155

分子状水素と水素原子を用いて調製したH終端ダイヤモンド膜のキャリア輸送特性【JST・京大機械翻訳】

資料名： International Journal of Minerals, Metallurgy and Materials  (International Journal of Minerals, Metallurgy and Materials)
巻： 24  号： 7  ページ： 850-856  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1051A  ISSN： 1674-4799  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高い表面伝導率を示すH終端ダイヤモンド膜を高周波及び高出力電子デバイスに用いた。本論文では,同じダイヤモンド膜からの試料における表面伝導チャネルを水素プラズマ処理により得て,水素雰囲気下での加熱により得て,両試料の表面キャリア輸送特性を比較し評価した。結果は,水素プラズマによって処理した試料のキャリア移動度とキャリア密度が,それぞれ15cm2V1s1と5×1012cm2より大きく,5つの異なる領域で測定したキャリア移動度が類似していることを示した。水素プラズマ処理試料と比較して,熱的に水素化した試料は,より低い表面伝導率,1桁低いキャリア密度,および2から33cm2V1s-1まで変化するキャリア移動度を示した。活性化水素原子はダイヤモンド表面を再構造化し,スクラッチを除去し,水素プラズマ処理プロセス中のエッチング効果を通して表面状態を不動態化し,より高いキャリア密度とより安定なキャリア移動度を維持する。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エッチング ,  キャリア密度 ,  キャリア移動度 ,  チャネル ,  水素化 ,  HF【周波数】 ,  *ダイヤモンド ,  不動態化
準シソーラス用語： *輸送特性 ,  水素プラズマ ,  表面伝導 ,  表面伝導率 ,  *キャリア輸送 ,  *ダイヤモンド膜 ,  *水素原子 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (7件)： 分子状水素 ,  水素原子 ,  調製 ,  終端 ,  ダイヤモンド膜 ,  キャリア ,  輸送特性