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J-GLOBAL ID：201702274411920612   整理番号：17A1054660

液体電解質接合を用いるTiO₂抵抗スイッチングにおける酸素空孔のエレクトロマイグレーションと導電性フィラメント生成の識別

Distinguishing Oxygen Vacancy Electromigration and Conductive Filament Formation in TiO₂ Resistance Switching Using Liquid Electrolyte Contacts

著者 (10件)： TANG Kechao (Stanford Univ., California, USA) ,  MENG Andrew C. (Stanford Univ., California, USA) ,  HUI Fei (Soochow Univ., Suzhou, CHN) ,  SHI Yuanyuan (Soochow Univ., Suzhou, CHN) ,  PETACH Trevor (Stanford Univ., California, USA) ,  HITZMAN Charles (Stanford Univ., California, USA) ,  KOH Ai Leen (Stanford Univ., California, USA) ,  GOLDHABER-GORDON David (Stanford Univ., California, USA) ,  LANZA Mario (Soochow Univ., Suzhou, CHN) ,  MCINTYRE Paul C. (Stanford Univ., California, USA)
資料名： Nano Letters  (Nano Letters)
巻： 17  号： 7  ページ： 4390-4399  発行年： 2017年07月 
JST資料番号： W1332A  ISSN： 1530-6984  CODEN： NALEFD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： RRAMの抵抗スイッチング機構の解明を目的として,ケイ素基板/白金バックゲート/原子層堆積酸化チタン/フォトレジスト/パラジウムトップゲート積層構造のゲート誘電体としてイオン液体(IL)または硝酸カリウム電解質水溶液を用いる電気二重層トランジスタの電流電圧特性を測定した。導電性原子間力顕微鏡,¹⁸O交換SIMS,透過型走査電子顕微鏡-電子エネルギー損失分光法によりキャラクタリゼーションを行った。ILゲーティングは酸化チタン層に大きい電場を生じて酸素空孔欠陥を発生させ,プログラミング電流を抑制した。プログラミング電流によるJoule熱が小さいために導電性フィラメントの繊維化は進行しなかった。電解質水溶液ゲーティングではフィラメントの生成を確認した。

シソーラス用語： *RAM【メモリ】 ,  *スイッチング ,  *空格子点 ,  *エレクトロマイグレーション ,  *フィラメント ,  電解質溶液 ,  酸化チタン ,  化学蒸着 ,  ウエハ【IC】 ,  白金電極 ,  素子構造 ,  積層構造 ,  ゲート絶縁膜 ,  *イオン液体 ,  水溶液 ,  *トランジスタ ,  電流電圧特性 ,  原子間力顕微鏡 ,  二次イオン質量分析 ,  透過型走査電子顕微鏡 ,  電子エネルギー損失分光法 ,  空孔欠陥
準シソーラス用語： Joule熱 ,  *RRAM ,  SIMS【質量分析】 ,  ケイ素基板 ,  ゲート誘電体 ,  トップゲート ,  バックゲート ,  *酸素空孔 ,  *抵抗スイッチング ,  電解質液 ,  電解質水溶液 ,  *電気二重層トランジスタ ,  *導電性フィラメント ,  導電性原子間力顕微鏡

分類 (3件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F) ,  電気化学反応  (CB07050F) ,  固-液界面  (CB12050B)

タイトルに関連する用語 (7件)： 電解質 ,  TiO2 ,  抵抗スイッチング ,  酸素空孔 ,  エレクトロマイグレーション ,  導電性フィラメント ,  識別