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J-GLOBAL ID：201702275184831078   整理番号：17A1518620

容量性結合電気陰性酸素プラズマによるレーザ誘起光剥離技術の診断研究【JST・京大機械翻訳】

Study on diagnosis of pulsed laser induced photo-detachment technique for capacitively coupled negative O2 plasma

著者 (5件)： Wang Tao (蘇州大学物理与光電・能源学部,蘇州 215006) ,  Wang Jun (蘇州大学物理与光電・能源学部,蘇州 215006) ,  Tang Chengshuang (蘇州大学物理与光電・能源学部,蘇州 215006) ,  Yang Yu (蘇州大学物理与光電・能源学部,蘇州 215006) ,  Xin Yu (蘇州大学物理与光電・能源学部,蘇州 215006)
資料名： Hejubian yu Dengliziti Wuli  (Hejubian yu Dengliziti Wuli)
巻： 37  号： 1  ページ： 37-42  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2035A  ISSN： 0254-6086  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 波長が532nmの高エネルギーレーザビームを用いて40.68MHzで励起された容量結合酸素プラズマを照射し、レーザビーム中央にあるプローブに一定の正バイアスを印加し、これにより酸素プラズマの空間電位と電気陰性度を診断した。実験結果により、プローブバイアスが0Vから徐々に増加する時、プローブが収集した電流波形はV型から逆U型に変化し、転移電圧点は電気陰性プラズマの空間電位であることが明らかになった。レーザ誘起光剥離技術を用いて電気陰性プラズマの空間電位を診断する経験的方法を提案した。また、プローブに印加された正バイアスがプラズマの空間電位より高い時、プラズマの電気陰性度はほぼ一定に保たれる。実験により、酸素プラズマの電気陰性度は高周波入力パワーの増加につれて低下する傾向があることが明らかになった。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： HF【周波数】 ,  波長 ,  プローブ ,  *電気陰性度 ,  電圧 ,  レーザビーム ,  バイアス ,  *プラズマ
準シソーラス用語： 電流波形 ,  プラズマ電位 ,  容量結合 ,  高エネルギー ,  *レーザ誘起 ,  *酸素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Laser induced photo detachment ,  Electronegative plasma ,  Plasma spatial potential ,  Electro negativity

分類 (2件)： プラズマ診断  (BJ02090L) ,  固体-プラズマ相互作用  (BJ02033W)

タイトルに関連する用語 (6件)： 容量性 ,  電気陰性 ,  酸素プラズマ ,  レーザ誘起 ,  診断 ,  研究