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J-GLOBAL ID：201702275567667236   整理番号：17A1390942

ペニング型大電力パルススパッタリングによるTi-Cuプラズマの放電特性

著者 (2件)： 永井僚 (兵庫県大) ,  東欣吾 (兵庫県大)
資料名： 電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集(CD-ROM)  (電気学会基礎・材料・共通部門大会(CD-ROM))
巻： 2017  ページ： ROMBUNNO.19-P-12  発行年： 2017年09月19日 
JST資料番号： L3783B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *スパッタリング ,  プラズマ源 ,  パルス ,  ターゲット ,  *金属薄膜 ,  チタン ,  銅 ,  *気体放電

分類 (3件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 大電力 ,  パルス ,  スパッタリング ,  Ti ,  Cu ,  プラズマ ,  放電特性