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J-GLOBAL ID：201702275623682531   整理番号：17A0319132

NO_2ガスセンサとしての噴霧熱分解したインジウム酸化物厚膜【Powered by NICT】

Spray pyrolyzed indium oxide thick films as NO₂ gas sensor

著者 (9件)： Patil Sarita P. (Thin Film Materials Laboratory, Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur 416004, M.S., India) ,  Patil Sarita P. (Sou Sushila Danchand Ghodawat Charitable Trust’s Sanjay Ghodawat Group of Institutions, Atigre, Kolhapur 416118, India) ,  Patil Vithoba L. (Thin Film Materials Laboratory, Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur 416004, M.S., India) ,  Patil Vithoba L. (Department of Physics, Karmaveer Hire Arts, Commerce, Science and Education College, Gargoti, Kolhapur 416209, India) ,  Shendage Sambhaji S. (Thin Film Materials Laboratory, Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur 416004, M.S., India) ,  Harale Namdev S. (Thin Film Materials Laboratory, Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur 416004, M.S., India) ,  Vanalakar Sharadrao A. (Department of Physics, Karmaveer Hire Arts, Commerce, Science and Education College, Gargoti, Kolhapur 416209, India) ,  Kim Jin Hyeok (Department of Materials Science and Engineering, Chonnam National University, Gwangju 500757, South Korea) ,  Patil Pramod S. (Thin Film Materials Laboratory, Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur 416004, M.S., India)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 42  号： 14  ページ： 16160-16168  発行年： 2016年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属酸化物は適度に高い温度で種々の毒性ガスの検出における効率的な材料として証明した。本研究では,簡単な噴霧熱分解法を用いて酸化インジウム(In_2O_3)厚膜を堆積した。In_2O_3膜は400°Cで種々の濃度の噴霧溶液で堆積した。溶液濃度は0.03 0 1で変化した。In_2O_3膜の構造と形態特性をX線回折(XRD)と走査電子顕微鏡(SEM)を用いて研究した。合成In_2O_3膜の立方晶結晶構造をXRDパターンにより確認した。微結晶サイズは,溶液濃度の増加と共に増加した。表面形態は溶液濃度と共にかなり変化し,平均粒径の増加を明らかにした。ナノペタルのような形態は,0.07Mの噴霧溶液濃度で得られた。堆積In_2O_3膜はガスセンシング応用のために使用した。0.07M溶液濃度で堆積したIn_2O_3膜は100ppm NO_2ガスの150°Cで最大のセンサ応答(R_g/R_a)~33.45を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： X線回折 ,  *酸化インジウム ,  有害ガス ,  走査電子顕微鏡 ,  *厚膜 ,  *噴霧 ,  結晶構造 ,  *センサ ,  *ガスセンサ ,  微結晶 ,  金属酸化物 ,  平均粒子径 ,  表面形態 ,  *噴霧熱分解法
準シソーラス用語： 形態特性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： In_2O_3膜 ,  噴霧熱分解 ,  ガスセンシング ,  NO_2ガス

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： ガスセンサ ,  噴霧熱分解 ,  インジウム酸化物 ,  厚膜