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J-GLOBAL ID：201702275772701121   整理番号：17A0172856

低真空度で真空包装されたMEMS圧電式圧電エネルギー貯蔵器の構造設計について述べた。【JST・京大機械翻訳】

Structure Design of MEMS Piezoelectric Vibration Energy Harvester with Wafer-Level Low Vacuum Packaging

著者 (3件)： Zhang Yingyi (No.44 Research Institute of CETC) ,  Wen Zhiyu (National Key Laboratory of Fundamental Science of Micro/Nano-Device and System Technology) ,  Deng Licheng (National Key Laboratory of Fundamental Science of Micro/Nano-Device and System Technology)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 29  号： 9  ページ： 1323-1327  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： MEMS低真空包装技術はMEMSデバイスの可動部分に低減衰環境を提供し、エネルギー損失を低減し、デバイスのエネルギー変換効率を有効に向上させ、重要な研究意義と応用前景を持ち、MEMS技術の研究の焦点と難点である。MEMS圧電圧電エネルギー貯蔵装置の出力性能をさらに向上させるために,円形の低電圧真空包装によるMEMS圧電カンチレバーアレイの振動エネルギー収集のための有限要素法を提案し,有限要素解析法を用いて構造パラメータを最適化した。最適化構造パラメータの下で,シミュレータの出力性能を最適化した。610HZと2G_Nの加速度の下で,デバイスの出力電圧は8.88Vであり,出力は1ΜWであり,それは実際の応用の要求を満たすことができた。デバイス構造に従って,加工プロセスを設計し,そして,低真空包装構造の実装およびカプセル化技術の探索に対して,重要な意味を持った。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *真空包装 ,  有限要素法 ,  *構造設計 ,  *MEMS ,  加速度 ,  *圧電気 ,  構造パラメータ ,  エネルギー変換効率 ,  振動エネルギー ,  *エネルギー貯蔵 ,  最適化
準シソーラス用語： 出力電圧 ,  有限要素解析 ,  圧電カンチレバー ,  低電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MEMS ,  piezoelectric ,  vibration ,  energy harvesting ,  low vacuum packaging

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 真空度 ,  真空包装 ,  MEMS ,  圧電 ,  エネルギー貯蔵 ,  構造設計